半導體工藝一般會產(chǎn)生各種工藝氣體和顆粒材料副產(chǎn)品, 有害氣體需要以受控方式進行處理. 上海伯東日本 Atonarp Aston 質(zhì)譜分析儀與 Scrubber 半導體尾氣處理設備聯(lián)用, 對處理完的氣體在線監(jiān)測分析, 并對分析數(shù)據(jù)進行監(jiān)控和記錄, 使其符合環(huán)境法規(guī).

上海伯東 Aston™ 質(zhì)譜分析儀半導體尾氣檢測解決方案
Aston 質(zhì)譜儀與半導體尾氣處理設備排氣端相連, 半導體廢氣處理設備 Scrubber 排出的氣體先經(jīng)過水洗塔內(nèi)進行噴淋水洗溶解, 帶走一些毒性腐蝕性排放物, 然后在使用 Aston 進行剩余氣體檢測和分析, 主要檢測 N2O 濃度等, 使其符合國際減排指標.

使用 Aston™ 質(zhì)譜分析儀優(yōu)勢
體積小, 便于攜帶, 整機重量僅 13.7 KG
與 GCMS 測試對比, 時時檢測, 不用特別取樣, 實現(xiàn)快速地減排氣體監(jiān)測
可以根據(jù)進入的廢氣濃度和測量的排放氣體數(shù)據(jù), 記錄日志
能夠承受嚴酷的 PFC 和酸性 (如 HF 和 HCl ）氣體
低至 PPB 水平的靈敏度

Aston 質(zhì)譜儀技術參數(shù)

Aston™ 是一款全新設計堅固耐用的緊湊型在線質(zhì)譜儀, 適用于半導體制造和工業(yè)過程控制應用中氣體監(jiān)測和控制, 高定量精度和實時性與生產(chǎn)穩(wěn)健性和可靠性相結合, 例如半導體 dry pump 尾氣偵測分析, 實現(xiàn)在線監(jiān)控, 診斷.

若您需要進一步的了解 Atonarp  Aston™ 在線質(zhì)譜儀詳細信息或討論,
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