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URE-2000/35型紫外光刻機

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具體成交價以合同協(xié)議為準(zhǔn)

公司名稱安徽智微科技有限公司
品牌
型號
所在地合肥市
廠商性質(zhì)其他
更新時間2022/8/1 16:24:59
訪問次數(shù)234

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產(chǎn)品簡介在線詢價

產(chǎn)品名稱：URE-2000/35型紫外光刻機主要技術(shù)指標(biāo)：曝光面積：100mm×100mm分辨力：1um（膠厚1.5μm的正膠）對準(zhǔn)精度：±0.8μm膠厚：300μm（SU8膠）掩模尺寸:2.5inch、3inch、4inch、5inch樣片尺寸：直徑Ф15mm--Ф100mm、厚度0.1mm--6mm(可擴(kuò)展為15mm)

URE-2000/35型紫外光刻機產(chǎn)品信息

微信截圖_20200116173236.png

產(chǎn)品名稱：URE-2000/35型紫外光刻機
主要技術(shù)指標(biāo)：
曝光面積：100mm×100mm
分辨力：1um（膠厚1.5μm的正膠）
對準(zhǔn)精度：±0.8μm
膠厚：300μm（SU8膠）
掩模尺寸:2.5 inch、3 inch、4 inch、5 inch
樣片尺寸：直徑Ф15mm--Ф100mm、厚度0.1mm--6mm(可擴(kuò)展為15mm)；
照明均勻性：±4%（Ф100mm 范圍）
汞燈功率：350W（直流）
掩模相對于樣片運動行程：X: ±5mm; Y: ±5mm; θ: ±6°
技術(shù)特點：
創(chuàng)新采用三柔性支點實現(xiàn)高精度自動調(diào)平；真空接觸自動曝光；樣片升降、調(diào)平、接觸、曝光、復(fù)位實現(xiàn)自動化控制；采用積木錯位蠅眼透鏡實現(xiàn)高均勻照明；可連續(xù)設(shè)定分離間隙；采用雙目雙視場顯微鏡實現(xiàn)高對準(zhǔn)精度。整機具有性能可靠、操作方便、自動化程度高等特點。