產(chǎn)品名稱：TYG-2000/T2步進投影光刻機
主要技術(shù)指標：
曝光場面積：20mm×20mm
分辨力：2μm；
照明不均勻性：±2%
物鏡倍率：2.5倍(縮小)
光源：350W球形汞燈（曝光譜線： i線）
基片尺寸：4 英寸
工件臺運動范圍：X：>150mm、 Y：>150mm；
工件臺運動定位精度：±0.65μm
調(diào)焦臺運動靈敏度：1μm
對準精度：±0.5μm
調(diào)焦臺運動行程：5mm
檢焦：CCD檢測，檢測精度0.5微米
轉(zhuǎn)動臺行程：±4°以上
基片尺寸:Ф5mm—150mmX150mm(并可適應非標準片或碎片)，厚度：0.1mm--5mm
主要技術(shù)配置：
（1）照明系統(tǒng)：冷光橢球鏡; 350W進口直流高壓汞燈(德國歐司朗); XYZ汞燈調(diào)節(jié)臺; 光學系統(tǒng)：固定光欄、可變光欄、快門、準直鏡負透鏡、蠅眼透鏡組（79個透鏡）、i線濾光片、場鏡1、冷光反射鏡1、反射鏡2; 冷卻風扇（2）工件臺系統(tǒng)：X臺：電機驅(qū)動器（日本樂孜）、絲杠（日本NSK）、導軌2（日本THK）、光柵（美國） Y臺：電機及驅(qū)動器（日本樂孜）、絲杠（日本NSK）、導軌2（日本THK）、光柵2（美國）轉(zhuǎn)動臺：電機及驅(qū)動器（日本樂孜），轉(zhuǎn)動軸系調(diào)平臺：電機及驅(qū)動器（3套）、調(diào)平機構(gòu) Z臺：電機及驅(qū)動器（日本樂孜）、絲杠、上升導向機構(gòu); 承片臺：3英寸（可增加4英寸、2英寸、1英寸等）（3）檢焦系統(tǒng)：焦面光學檢測系統(tǒng)、CCD、焦面檢測軟件（4）對準系統(tǒng)：對準光學檢測系統(tǒng)（2套）、CCD（2套）、對準軟件（5）電控系統(tǒng)：汞燈電源及觸發(fā)器、主機控制系統(tǒng)、軟件、計算機、顯示器、接口（6）其他部件：底座減震器（4個);控制柜桌;氣動系統(tǒng);電磁閥、旋轉(zhuǎn)氣缸、減壓閥、壓力表、真空表（7）其他附件：真空泵一臺(無油泵);空壓機一臺（*泵）;管道