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定義1:能感受規(guī)定的被測量并按照一定的規(guī)律轉(zhuǎn)換成可用輸出信號的器件或裝置。應(yīng)用學科:機械工程(一級學科);傳感器(二級學科);傳感器一般名詞(三級學科)
定義2:接受物理或化學變量(輸入變量)形式的信息,并按一定規(guī)律將其轉(zhuǎn)換成同種或別種性質(zhì)的輸出信號的裝置。應(yīng)用學科:煤炭科技(一級學科);礦山電氣工程(二級學科);煤礦監(jiān)測與控制(三級學科)
傳感器是一種物理裝置或生物器官,能夠探測、感受外界的信號、物理條件(如光、熱、濕度)或化學組成(如煙霧),并將探知的信息傳遞給其他裝置或器官。國家標準GB7665-87對傳感器下的定義是:“能感受規(guī)定的被測量件并按照一定的規(guī)律轉(zhuǎn)換成可用信號的器件或裝置,通常由敏感元件和轉(zhuǎn)換元件組成”。傳感器是一種檢測裝置,能感受到被測量的信息,并能將檢測感受到的信息,按一定規(guī)律變換成為電信號或其他所需形式的信息輸出,以滿足信息的傳輸、處理、存儲、顯示、記錄和控制等要求。它是實現(xiàn)自動檢測和自動控制的首要環(huán)節(jié)。
“傳感器”在新韋式大詞典中定義為:“從一個系統(tǒng)接受功率,通常以另一種形式將功率送到第二個系統(tǒng)中的器件”。根據(jù)這個定義,傳感器的作用是將一種能量轉(zhuǎn)換成另一種能量形式,所以不少學者也用“換能器-Transducer”來稱謂“傳感器-Sensor”。
功能
常將傳感器的功能與人類5大感覺器官相比擬:光敏傳感器——視覺聲敏傳感器——聽覺氣敏傳感器——嗅覺化學傳感器——味覺壓敏、溫敏、流體傳感器——觸覺敏感元件的分類:①物理類,基于力、熱、光、電、磁和聲等物理效應(yīng)。②化學類,基于化學反應(yīng)的原理。③生物類,基于酶、抗體、和激素等分子識別功能。通常據(jù)其基本感知功能可分為熱敏元件、光敏元件、氣敏元件、力敏元件、磁敏元件、濕敏元件、聲敏元件、放射線敏感元件、色敏元件和味敏元件等類(還有人曾將敏感元件分46類)。
特性
傳感器靜態(tài)特性
傳感器的靜態(tài)特性是指對靜態(tài)的輸入信號,傳感器的輸出量與輸入量之間所具有相互關(guān)系。因為這時輸入量和輸出量都和時間無關(guān),所以它們之間的關(guān)系,即傳感器的靜態(tài)特性可用一個不含時間變量的代數(shù)方程,或以輸入量作橫坐標,把與其對應(yīng)的輸出量作縱坐標而畫出的特性曲線來描述。表征傳感器靜態(tài)特性的主要參數(shù)有:線性度、靈敏度、遲滯、重復性、漂移等。(1)線性度:指傳感器輸出量與輸入量之間的實際關(guān)系曲線偏離擬合直線的程度。定義為在全量程范圍內(nèi)實際特性曲線與擬合直線之間的zui大偏差值與滿量程輸出值之比。(2)靈敏度:靈敏度是傳感器靜態(tài)特性的一個重要指標。其定義為輸出量的增量與引起該增量的相應(yīng)輸入量增量之比。用S表示靈敏度。(3)遲滯:傳感器在輸入量由小到大(正行程)及輸入量由大到?。ǚ葱谐蹋┳兓陂g其輸入輸出特性曲線不重合的現(xiàn)象成為遲滯。對于同一大小的輸入信號,傳感器的正反行程輸出信號大小不相等,這個差值稱為遲滯差值。(4)重復性:重復性是指傳感器在輸入量按同一方向作全量程連續(xù)多次變化時,所得特性曲線不一致的程度。(5)漂移:傳感器的漂移是指在輸入量不變的情況下,傳感器輸出量隨著時間變化,此現(xiàn)象稱為漂移。產(chǎn)生漂移的原因有兩個方面:一是傳感器自身結(jié)構(gòu)參數(shù);二是周圍環(huán)境(如溫度、濕度等)。
傳感器動態(tài)特性
所謂動態(tài)特性,是指傳感器在輸入變化時,它的輸出的特性。在實際工作中,傳感器的動態(tài)特性常用它對某些標準輸入信號的響應(yīng)來表示。這是因為傳感器對標準輸入信號的響應(yīng)容易用實驗方法求得,并且它對標準輸入信號的響應(yīng)與它對任意輸入信號的響應(yīng)之間存在一定的關(guān)系,往往知道了前者就能推定后者。zui常用的標準輸入信號有階躍信號和正弦信號兩種,所以傳感器的動態(tài)特性也常用階躍響應(yīng)和頻率響應(yīng)來表示。
傳感器的線性度
通常情況下,傳感器的實際靜態(tài)特性輸出是條曲線而非直線。在實際工作中,為使儀表具有均勻刻度的讀數(shù),常用一條擬合直線近似地代表實際的特性曲線、線性度(非線性誤差)就是這個近似程度的一個性能指標。擬合直線的選取有多種方法。如將零輸入和滿量程輸出點相連的理論直線作為擬合直線;或?qū)⑴c特性曲線上各點偏差的平方和為zui小的理論直線作為擬合直線,此擬合直線稱為zui小二乘法擬合直線。
傳感器的靈敏度
靈敏度是指傳感器在穩(wěn)態(tài)工作情況下輸出量變化△y對輸入量變化△x的比值。它是輸出一輸入特性曲線的斜率。如果傳感器的輸出和輸入之間顯線性關(guān)系,則靈敏度S是一個常數(shù)。否則,它將隨輸入量的變化而變化。靈敏度的量綱是輸出、輸入量的量綱之比。例如,某位移傳感器,在位移變化1mm時,輸出電壓變化為200mV,則其靈敏度應(yīng)表示為200mV/mm。當傳感器的輸出、輸入量的量綱相同時,靈敏度可理解為放大倍數(shù)。提高靈敏度,可得到較高的測量精度。但靈敏度愈高,測量范圍愈窄,穩(wěn)定性也往往愈差。
傳感器的分辨率
分辨率是指傳感器可感受到的被測量的zui小變化的能力。也就是說,如果輸入量從某一非零值緩慢地變化。當輸入變化值未超過某一數(shù)值時,傳感器的輸出不會發(fā)生變化,即傳感器對此輸入量的變化是分辨不出來的。只有當輸入量的變化超過分辨率時,其輸出才會發(fā)生變化。通常傳感器在滿量程范圍內(nèi)各點的分辨率并不相同,因此常用滿量程中能使輸出量產(chǎn)生階躍變化的輸入量中的zui大變化值作為衡量分辨率的指標。上述指標若用滿量程的百分比表示,則稱為分辨率。分辨率與傳感器的穩(wěn)定性有負相相關(guān)性。
傳感器在科學技術(shù)領(lǐng)域、工農(nóng)業(yè)生產(chǎn)以及日常生活中發(fā)揮著越來越重要的作用。人類社會對傳感器提出的越來越高的要求是傳感器技術(shù)發(fā)展的強大動力。而現(xiàn)代們學技術(shù)突飛猛進則提供了堅強的后盾。
發(fā)展
隨著科技的發(fā)展,傳感器也在不斷的更新發(fā)展。
1、開發(fā)新型傳感器
新型傳感器,大致應(yīng)包括:①采用新原理;②*傳感器空白;③仿生傳感器等諸方面。它們之間是互相的。傳感器的工作機理是基于各種效應(yīng)和定律,由此啟發(fā)人們進一步探索具有新效應(yīng)的敏感功能材料,并以此研制出具有新原理的新型物性型傳感器件,這是發(fā)展高性能、多功能、低成本和小型化傳感器的重要途徑。結(jié)構(gòu)型傳感器發(fā)展得較早,目前日趨成熟。結(jié)構(gòu)型傳感器,一般說它的結(jié)構(gòu)復雜,體積偏大,價格偏高。物性型傳感器大致與之相反,具有不少誘人的優(yōu)點,加之過去發(fā)展也不夠。世界各國都在物性型傳感器方面投入大量人力、物力加強研究,從而使它成為一個值得注意的發(fā)展動向。其中利用量子力學諸效應(yīng)研制的低靈敏閾傳感器,用來檢測微弱的信號,是發(fā)展新動向之一。
2、集成化、多功能化、智能化
傳感器集成化包括兩種定義,一是同一功能的多元件并列化,即將同一類型的單個傳感元件用集成工藝在同一平面上排列起來,排成1維的為線性傳感器,CCD圖象傳感器就屬于這種情況。集成化的另一個定義是多功能一體化,即將傳感器與放大、運算以及溫度補償?shù)拳h(huán)節(jié)一體化,組裝成一個器件。
隨著集成化技術(shù)的發(fā)展,各類混合集成和單片集成式壓力傳感器相繼出現(xiàn),有的已經(jīng)成為商品。集成化壓力傳感器有壓阻式、電容式、等類型,其中壓阻式集成化傳感器發(fā)展快、應(yīng)用廣。
傳感器的多功能化也是其發(fā)展方向之一。所謂多功能化的典型實例,美國某大學傳感器研究發(fā)展中心研制的單片硅多維力傳感器可以同時測量3個線速度、3個離心加速度(角速度)和3個角加速度。主要元件是由4個正確設(shè)計安裝在一個基板上的懸臂梁組成的單片硅結(jié)構(gòu),9個正確布置在各個懸臂梁上的壓阻敏感元件。多功能化不僅可以降低生產(chǎn)成本,減小體積,而且可以有效的提高傳感器的穩(wěn)定性、可靠性等性能指標。
把多個功能不同的傳感元件集成在一起,除可同時進行多種參數(shù)的測量外,還可對這些參數(shù)的測量結(jié)果進行綜合處理和評價,可反映出被測系統(tǒng)的整體狀態(tài)。由上還可以看出,集成化對固態(tài)傳感器帶來了許多新的機會,同時它也是多功能化的基礎(chǔ)。
傳感器與微處理機相結(jié)合,使之不僅具有檢測功能,還具有信息處理、邏輯判斷、自診斷、以及“思維”等人工智能,就稱之為傳感器的智能化。借助于半導體集成化技術(shù)把傳感器部分與信號預處理電路、輸入輸出接口、微處理器等制作在同一塊芯片上,即成為大規(guī)模集成智能傳感器??梢哉f智能傳感器是傳感器技術(shù)與大規(guī)模集成電路技術(shù)相結(jié)合的產(chǎn)物,它的實現(xiàn)將取決于傳感技術(shù)與半導體集成化工藝水平的提高與發(fā)展。這類傳感器具有多能、高性能、體積小、適宜大批量生產(chǎn)和使用方便等優(yōu)點,可以肯定地說,是傳感器重要的方向之一。
3、新材料開發(fā)
傳感器材料是傳感器技術(shù)的重要基礎(chǔ),是傳感器技術(shù)升級的重要支撐。隨著材料科學的進步,傳感器技術(shù)日臻成熟,其種類越來越多,除了早期使用的半導體材料、陶瓷材料以外,光導纖維以及超導材料的開發(fā),為傳感器的發(fā)展提供了物質(zhì)基礎(chǔ)。例如,根據(jù)以硅為基體的許多半導體材料易于微型化、集成化、多功能化、智能化,以及半導體光熱探測器具有靈敏度高、精度高、非接觸性等特點,發(fā)展紅外傳感器、激光傳感器、光纖傳感器等現(xiàn)代傳感器;在敏感材料中,陶瓷材料、有機材料發(fā)展很快,可采用不同的配方混合原料,在精密調(diào)配化學成分的基礎(chǔ)上,經(jīng)過高精度成型燒結(jié),得到對某一種或某幾種氣體具有識別功能的敏感材料,用于制成新型氣體傳感器。此外,高分子有機敏感材料,是近幾年人們極為關(guān)注的具有應(yīng)用潛力的新型敏感材料,可制成熱敏、光敏、氣敏、濕敏、力敏、離子敏和生物敏等傳感器。傳感器技術(shù)的不斷發(fā)展,也促進了更新型材料的開發(fā),如納米材料等。美國NRC公司已開發(fā)出納米ZrO2氣體傳感器,控制機動車輛尾氣的排放,對凈化環(huán)境效果很好,應(yīng)用前景比較廣闊。由于采用納米材料制作的傳感器,具有龐大的界面,能提供大量的氣體通道,而且導通電阻很小,有利于傳感器向微型化發(fā)展,隨著科學技術(shù)的不斷進步將有更多的新型材料誕生。
4、新工藝的采用
在發(fā)展新型傳感器中,離不開新工藝的采用。新工藝的含義范圍很廣,這里主要指與發(fā)展新興傳感器特別密切的微細加工技術(shù)。該技術(shù)又稱微機械加工技術(shù),是近年來隨著集成電路工藝發(fā)展起來的,它是離子束、電子束、分子束、激光束和化學刻蝕等用于微電子加工的技術(shù),目前已越來越多地用于傳感器領(lǐng)域,例如濺射、蒸鍍、等離子體刻蝕、化學氣體淀積(CVD)、外延、擴散、腐蝕、光刻等,迄今已有大量采用上述工藝制成的傳感器的國內(nèi)外報道。
5、智能材料
智能材料是指設(shè)計和控制材料的物理、化學、機械、電學等參數(shù),研制出生物體材料所具有的特性或者優(yōu)于生物體材料性能的人造材料。有人認為,具有下述功能的材料可稱之為智能材料:具備對環(huán)境的判斷可自適應(yīng)功能;具備自診斷功能;具備自修復功能;具備自增強功能(或稱時基功能)。
生物體材料的zui突出特點是具有時基功能,因此這種傳感器特性是微分型的,它對變分部分比較敏感。反之,長期處于某一環(huán)境并習慣了此環(huán)境,則靈敏度下降。一般說來,它能適應(yīng)環(huán)境調(diào)節(jié)其靈敏度。除了生物體材料外,zui引人注目的智能材料是形狀記憶合金、形狀記憶陶瓷和形狀記憶聚合物。
智能材料的探索工作剛剛開始,相信不久的將來會有很大的發(fā)展。
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展會城市:北京市展會時間:2025-06-18