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加熱式電容膜片真空計(jì)
SKY@CDG160D/CDG200D
INFICON SKY CDG160D和CDG200D 高溫壓力計(jì)是實(shí)現(xiàn)
精確總壓測(cè)量與控制的理想之選。CDG160D 和CDG200D
真空計(jì)溫度分別控制在160°℃和200℃,具有的性
能，適用于苛刻的半導(dǎo)體和等離子過(guò)程。在1托至1000托
滿刻度范圍內(nèi)均可使用，帶有所有常用類型的法蘭和現(xiàn)場(chǎng)
總線接口，能夠提供0至10伏、不受氣體類型限制的線性
壓力信號(hào)。INFICON 電容式壓力計(jì)采用超純氧化鋁陶瓷隔
膜，具有防腐蝕性。陶瓷傳感器具有信號(hào)穩(wěn)定性更佳、從
大氣恢復(fù)的速度更快、預(yù)熱時(shí)間短和使用壽命長(zhǎng)等諸多優(yōu)
勢(shì) 。INFICON CDG壓力傳感器品質(zhì)本效
益，適用于苛刻的半導(dǎo)體、等離子和真空應(yīng)用。
優(yōu)勢(shì)
·擁有成本更低，預(yù)熱速度快50%,節(jié)能，低功耗
·易于集成，各種滿刻度、法蘭和接口，標(biāo)配兩個(gè)設(shè)定點(diǎn)
·輕松一鍵調(diào)零或遠(yuǎn)程信號(hào)調(diào)零指令，可調(diào)零點(diǎn)偏移
·診斷端口用于快速維修和維護(hù)
·兩年保修服務(wù)， HT 加熱概念和真空計(jì)保護(hù)延長(zhǎng)了使用壽
命
的信號(hào)穩(wěn)定性和可重復(fù)性，即使是最嚴(yán)苛的等離子
應(yīng)用，都無(wú)需長(zhǎng)期執(zhí)行重新校準(zhǔn)
·合規(guī)和標(biāo)準(zhǔn)：CE、EN、UL、SEMI、RoHS
應(yīng)用范圍
·蝕刻、CVD、PVD及其他半導(dǎo)體生產(chǎn)過(guò)程
·化學(xué)和腐蝕性高溫過(guò)程
·需要真空計(jì)保護(hù)的一般薄膜和真空過(guò)程
SKY@CDG160D/CDG200D
1) 優(yōu)化的壓力控制信號(hào)濾波器設(shè)置
2) 不能使用現(xiàn)場(chǎng)總線接口
粗體=標(biāo)準(zhǔn)產(chǎn)品
其他法蘭類型可按要求提供。
SKY@CDG160D/CDG200D
規(guī)格(以托為單位的標(biāo)準(zhǔn)產(chǎn)品)
測(cè)量范圍 | 托 | 1000 |
|
|
FS(滿刻度) | 毫巴 帕 | 133,322 1333 | 13,332 1,333 133 13.3 | 133 1.3 |
精度1) | 讀數(shù)% | 0.4 | ||
溫度效應(yīng) | ||||
需點(diǎn) | %FS/℃ | 0.005 | ||
滿量程 | 讀 數(shù) % / ℃ | 0.02 | ||
最大壓力 | 千帕(絕對(duì)) | 400 | 260 260 | 260 |
分辨率 | %FS | 0.003 | ||
讀數(shù) | %FS | 0.01 | ||
建議的讀數(shù) | %FS | 0.05 | ||
建議的控制 壓力 |
%FS |
0.5 | ||
溫度 | ||||
運(yùn)行(環(huán)境)2 | ℃ | +10 .+50 | ||
在法蘭處烘烤 | ℃ | ≤200 | ||
存儲(chǔ) | ℃ | -20 .…+65 | ||
電源電壓 | +21 …+30伏(直流)或±15伏(±5%) | |||
加熱時(shí)功耗 | ||||
CDG160D | W | ≤18 | ||
CDG200D | W | ≤25 | ||
運(yùn)行溫度時(shí)的功耗 CDG160D CDG200D |
W W |
≤12 ≤18 | ||
輸出信號(hào)(模擬) | 伏(直流) | 0.…+10 | ||
響應(yīng)時(shí)間3) | 毫秒 | 30 | ||
防護(hù)等級(jí) | IP 40 | |||
標(biāo)準(zhǔn) CE符合性 ETL認(rèn)證 SEMI合規(guī)性 |
EN 61000-6-2、EN 61000-6-3、EN 61010 UL 61010-1、CSA 22.2 No.61010-1 SEMI S-2 | |||
電氣連接 | D-Sub,15針，公頭 | |||
設(shè)定值 | 2個(gè)設(shè)定點(diǎn)(SP1、SP2) | |||
繼電器觸點(diǎn) | 伏(直流)/安(直 | ≤30/≤0.5 | ||
滯后 | 流 ) %FS | 1 | ||
診斷端口 協(xié)議 讀 設(shè)置 暴露于真空的材料 |
RS232-C 壓力、狀態(tài)、ID 設(shè)定點(diǎn)、過(guò)濾器、調(diào)零、出廠設(shè)置復(fù)位、直流偏置 氧化鋁陶瓷(Al?O?)、不銹鋼(AISI 316L?) |
1)在25°℃環(huán)境運(yùn)行溫度下表現(xiàn)為非線性、滯后、再現(xiàn)性，運(yùn)行兩小時(shí)后無(wú)溫度效應(yīng)
2) 環(huán)境溫度>40℃,可能會(huì)使表面溫度高于SEMIS2 合規(guī)水平—標(biāo)記“小心燙傷!”
3)增加10.…90% FS
4)18%Cr、10%Ni、3%Mo、69%Fe
SKY@CDG160D/CDG200D
SKY@CDG160D/CDG200D
DEVICENET規(guī)格
DeviceNetTM | ||
協(xié)議 | DeviceNetTM,僅第2組從屬 | |
數(shù)據(jù)率開關(guān) 千波特 | 125、250、500或可網(wǎng)絡(luò)編程 | |
電纜長(zhǎng)度 125 kbps 米(英尺) 250 kbps 米(英尺) 500 kbps 米(英尺) |
500(1650) 250 (825) 100 (330) | |
MAC ID | 兩個(gè)開關(guān)(地址00-63)或可網(wǎng)絡(luò)編程 | |
數(shù)字功能 | 讀取壓力，選擇單位：托、毫巴、帕 脫氣功能，皮拉尼滿刻度調(diào)節(jié) 監(jiān)測(cè)真空計(jì)狀態(tài) 安全狀態(tài)允許定義出錯(cuò)時(shí)的行為 詳細(xì)的警報(bào)和警告信息 | |
模擬功能 | 0 …10伏模擬輸出壓力指示 兩個(gè)設(shè)定點(diǎn)繼電器A+B | |
視覺(jué)通訊指示燈 | LED網(wǎng)絡(luò)狀態(tài)(綠色/紅色) LED模塊狀態(tài)(綠色/紅色) | |
規(guī)格 | DeviceNetTM“真空計(jì)設(shè)備概況” | |
設(shè)備類型 | “CG”表示組合儀表 | |
/O從屬傳訊 | 只輪詢 | |
設(shè)定點(diǎn)繼電器 范圍 繼電器觸點(diǎn) 滯后 觸點(diǎn)額定值 |
毫巴
讀數(shù)% 伏/安(直流) | 2 1×10°…100 常開，無(wú)電勢(shì) 10 60/0.5 |
DeviceNetTM的電源電壓 真空計(jì)的電源電壓 DeviceNetTM的連接器 | 伏/安(直流) 伏/安(直流) | +11-+25/0.5 +20 -+28/0.8 微型，5針 D-Sub,15針，公頭 |
真空計(jì)的連接器(模擬輸出、電源電壓、 設(shè)定點(diǎn) | ||
PROFIBUS
Profibus
D規(guī)格
DP
波特率 | 千波特 兆 波 特 | 9.6/19.2/93.75/187.5/500 1.5/12 |
地址 | ||
兩 個(gè) 開 關(guān) ( 地 址 0 0 - 1 2 7 ) 或 可 網(wǎng) 絡(luò) 編 程 | ||
數(shù)字功能 | 讀取壓力，選擇單位：托、毫巴、帕 脫氣功能，皮拉尼滿刻度調(diào)節(jié) 監(jiān)測(cè)真空計(jì)狀態(tài)、燈絲狀態(tài) 安全狀態(tài)允許定義出錯(cuò)時(shí)的行為 詳 細(xì) 的 警 報(bào) 和 警 告 信 息 | |
模擬功能 | 0…10伏模擬輸出壓力指示 兩 個(gè) 設(shè) 定 點(diǎn) 繼 電 器 A + B | |
設(shè)定點(diǎn)繼電器 | 2 | |
范圍 | 毫巴 | 1×10?.…100 |
繼電器觸點(diǎn) | 常開，無(wú)電勢(shì) | |
滯后 | 讀 數(shù) % | 10 |
觸點(diǎn)額定值 | 伏/安(直流) | ≤30/≤0.5 |
Profibus DP的連接器 | D-Sub,9 針，母頭 | |
BPG 的連接器(模擬輸出、電源電壓、設(shè) 定 點(diǎn) ) | D-Sub,15 針，公頭 |
SKY@CDG160D/CDG200D
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2025第21屆鄭州工業(yè)自動(dòng)化展
展會(huì)城市：鄭州市展會(huì)時(shí)間：2025-05-09