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雙圓裂片式規(guī)劃和現(xiàn)在和廣泛應(yīng)用的羅茨泵十分相似。事實(shí)上,一些最前期的干泵規(guī)劃思想就是將羅茨泵疊加起來。這種多級(jí)規(guī)劃使得氣體通路適當(dāng)雜亂,而且每一級(jí)都需求較大流量的氮?dú)馄鸬较♂尯妥韪粜ЧR黄?,為了到達(dá)好的真空度,對(duì)各級(jí)的間隙有十分嚴(yán)厲的要求。當(dāng)然,這種規(guī)劃由于增加了內(nèi)部的壓縮比而使得其耗電量相對(duì)較低。
三葉圓裂片式規(guī)劃和雙圓裂片式規(guī)劃的原理相同,只是在旋轉(zhuǎn)一圈中將氣體分為三份而不是像雙圓裂片式分為兩份。這兩種規(guī)劃有著相同的優(yōu)點(diǎn)和缺陷。為了進(jìn)一步下降耗電量,在傳動(dòng)部分有的廠家選用兩個(gè)直流馬達(dá),但這也會(huì)導(dǎo)致扭矩減小,重新啟動(dòng)的能力-下降。同雙圓裂片式規(guī)劃一樣,三葉圓裂片式規(guī)劃的每一級(jí)都需求較大流量的氮?dú)鈦砥鸬较♂尯妥韪粜Ч?/p>
組合式(羅茨+爪)規(guī)劃用羅茨來進(jìn)步在較低壓力下的抽氣功率,用爪來進(jìn)步在較高壓力下的抽氣功率。它的基本原理和氣體通路同前面介紹的圓裂片式規(guī)劃相同。也有些廠家將其級(jí)改為星型規(guī)劃,這樣能夠在旋轉(zhuǎn)一圈中將氣體分為五份,就像三圓裂片式規(guī)劃能夠?qū)⑵浞譃槿?。同樣,在很多工藝中,組合式規(guī)劃的每一級(jí)都需求較大流量的氮?dú)鈦砥鸬较♂尯妥韪粜Ч?/p>
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