變頻油螺桿真空泵：變頻油螺桿真空泵的研究現(xiàn)狀及發(fā)展方向？

自1984年中國(guó)臺(tái)灣省工業(yè)上可操作的干式泵在日本投入運(yùn)行以來(lái)，許多無(wú)油真空泵如雨后春筍般出現(xiàn)，其中日本、美國(guó)、法國(guó)和德國(guó)較為。DVP系列產(chǎn)品真空度可達(dá)10-2Pa，是目前報(bào)道的單級(jí)干式真空泵中真空度較高的產(chǎn)品之一。那么變頻油螺桿真空泵的研究現(xiàn)狀和發(fā)展方向如何呢？

變頻油螺桿真空泵：變頻油螺桿真空泵的研究現(xiàn)狀及發(fā)展方向？

1.雖然干式真空泵的種類越來(lái)越多，但爪式泵等普通機(jī)械真空泵的抽速難以放大，難度大，成本高；另外還有多葉片串聯(lián)的羅茨泵，其缺點(diǎn)與爪式泵相似。在這種背景下，干式螺桿真空泵具有許多前人所不具備的優(yōu)點(diǎn)，這些優(yōu)點(diǎn)保證了干式螺桿真空泵的性及其在應(yīng)用中的優(yōu)勢(shì)。

2.國(guó)外對(duì)螺桿真空泵的性能研究很多。根據(jù)螺桿壓縮機(jī)原理設(shè)計(jì)的雙螺桿干式真空泵，采用了多項(xiàng)新技術(shù)，并已形成批量生產(chǎn)。該公司已成為世界低壓和真空技術(shù)的者之一。2002年，真空設(shè)備有限公司推出了一種用于氣體處理的新型干式螺桿真空泵。KDPH-120螺桿泵采用變嚙合設(shè)計(jì)，比其他TJ真空泵降低能耗30％左右。普旭是世界上有影響力的真空設(shè)備制造商之一，為客戶提供大量的真空泵和真空系統(tǒng)。

3.無(wú)油螺桿真空泵于2003年通過(guò)美國(guó)應(yīng)用材料公司實(shí)驗(yàn)室測(cè)試。應(yīng)用公司使用其設(shè)備在美國(guó)實(shí)驗(yàn)室安裝普旭BUSCH的無(wú)油螺桿真空泵系列進(jìn)行測(cè)試。經(jīng)過(guò)一年的試驗(yàn)，結(jié)果表明真空泵系列及其設(shè)備組合具有良好的試驗(yàn)效果。然后在2004年，普旭推出了一系列表面經(jīng)過(guò)特殊強(qiáng)化的螺桿真空泵，可以抵抗大部分人的活性氣體造成的腐蝕。此外，其他文獻(xiàn)對(duì)螺桿真空泵的性能做了更多的研究。在國(guó)內(nèi)，關(guān)于干式螺桿真空泵的研究文獻(xiàn)很少。只有上海博匯真空設(shè)備有限公司的周研制了干式真空泵并申請(qǐng)了，但沒(méi)有成品報(bào)告。

4.目前，國(guó)內(nèi)外關(guān)于雙螺桿干式真空泵轉(zhuǎn)子型線設(shè)計(jì)的報(bào)道很少。內(nèi)容主要圍繞螺桿真空泵的性能預(yù)測(cè)及其配套裝置、材料、加工方法和設(shè)備、螺桿泵附件和密封條件的改進(jìn)。很多國(guó)家對(duì)自己的螺桿泵技術(shù)保密，互相競(jìng)爭(zhēng)。但是，我國(guó)螺桿泵的設(shè)計(jì)還存在很多具體的細(xì)節(jié)和技術(shù)問(wèn)題，螺桿泵的設(shè)計(jì)還沒(méi)有達(dá)到水平。至于螺桿泵的加工制造，受到國(guó)內(nèi)生產(chǎn)設(shè)備和加工條件的限制。國(guó)產(chǎn)螺桿泵的自動(dòng)化程度和精度都不高，有些螺桿泵無(wú)法自主制造。因此，中真空泵仍主要依賴進(jìn)口。

5.對(duì)于所有類型的真空泵，希望現(xiàn)有真空泵的物理尺寸小化。但這與真空泵的抽速是矛盾的。因?yàn)檎婵毡玫某闅馑俾逝c真空泵的體積成正比，所以物理尺寸小就意味著體積小。當(dāng)然，影響真空泵抽速的還有一個(gè)因素，那就是轉(zhuǎn)速。為了使小型真空泵的抽速與大型真空泵的抽速相匹配，需要提高其轉(zhuǎn)速。為了提高真空泵的轉(zhuǎn)速，可以用變頻器改變電源的頻率或齒輪箱的傳動(dòng)比。前者可以提供閉環(huán)控制，但在重載下容易造成轉(zhuǎn)矩?fù)p失。改變變速箱的傳動(dòng)比是一種經(jīng)濟(jì)的方法，但只能提供不可控的單一轉(zhuǎn)速。目前國(guó)外研制的高速真空泵有很多。