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是指以膜片裝置(不銹鋼膜片、硅酮膜片等)為媒介,用感壓元件對(duì)氣體和液體的壓力進(jìn)行測(cè)量,并轉(zhuǎn)換成電氣信號(hào)輸出的設(shè)備。
壓力傳感器原理:
半導(dǎo)體壓電阻抗擴(kuò)散壓力傳感器是在薄片表面形成半導(dǎo)體變形壓力,通過(guò)外力(壓力)使薄片變形而產(chǎn)生壓電阻抗效果,從而使阻抗的變化轉(zhuǎn)換成電信號(hào)。
靜電容量型壓力傳感器,是將玻璃的固定極和硅的可動(dòng)極相對(duì)而形成電容,將通過(guò)外力(壓力)使可動(dòng)極變形所產(chǎn)生的靜電容量的變化轉(zhuǎn)換成電氣信號(hào)。 (E8Y的動(dòng)作原理便是靜電容量方式,其他機(jī)種采用半導(dǎo)體方式)。
術(shù)語(yǔ)解說(shuō):
標(biāo)準(zhǔn)壓力:是以大氣壓為標(biāo)準(zhǔn)來(lái)表示的壓力大小。
比大氣壓高的壓力稱(chēng)為“正壓”,比大氣壓低的稱(chēng)為“負(fù) 壓”。
壓力:以真空為標(biāo)準(zhǔn)表示的壓力大小。
差壓(相對(duì)壓):相對(duì)于任意的比較壓力(標(biāo)準(zhǔn)壓)表示的壓力大小。
大氣壓:是指大氣的壓力。標(biāo)準(zhǔn)大氣壓(1atm)相當(dāng)于高度為760mm的水銀柱產(chǎn)生的壓力。
真空:是指比大氣壓低的壓力狀態(tài)。
檢測(cè)壓力范圍:可使用傳感器的檢測(cè)壓力范圍。
耐壓力:恢復(fù)到檢測(cè)壓力時(shí),不會(huì)引起性能下降的可承受壓力。
重復(fù)精度(ON/OFF輸出):在一定溫度(23℃)下,增減壓力時(shí),在檢測(cè)壓力的全部值中除去反運(yùn)行的壓力值后的動(dòng)作點(diǎn)壓力變動(dòng)值。
精度(線(xiàn)性):在一定溫度(23℃)下,從全部值中除去施加零壓力及額定輸出時(shí)的輸出電流的規(guī)格值(4mA、20mA)中的偏離值。
單位用%F.S.表示。
直線(xiàn)性(線(xiàn)性):模擬輸出相對(duì)于檢測(cè)壓力,幾乎呈直線(xiàn)性變化,但與理想直線(xiàn)有若干偏離。這種偏離相對(duì)于全部值用%來(lái)表示。
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