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          奧林巴斯測(cè)量顯微鏡的基本原理了解一下吧

          2022年04月27日 13:35:51人氣:514來(lái)源:上海力陽(yáng)實(shí)業(yè)有限公司

            奧林巴斯測(cè)量顯微鏡采用透、反射的方式對(duì)工件長(zhǎng)度和角度作精密測(cè)量。特別適用于錄象磁頭、大規(guī)模集成電路線(xiàn)寬以及其它精密零件的測(cè)試。
           
            廣泛地適用于計(jì)量室、生產(chǎn)作業(yè)線(xiàn)及科學(xué)研究等部門(mén)。工作臺(tái)除作X、Y坐標(biāo)的移動(dòng)外,還可以作360度的旋轉(zhuǎn),亦可以進(jìn)行高度方向做Z坐標(biāo)的測(cè)量;采用雙筒目鏡觀(guān)察。
           
            照明系統(tǒng)除作透、反射照明外還可以作斜光線(xiàn)照明。儀器進(jìn)一步可連接CCD電視攝像頭,作工件的輪廓放大;亦可連接計(jì)算機(jī)進(jìn)行數(shù)據(jù)處理等測(cè)量。
           
            下面就讓我們一起來(lái)了解一下奧林巴斯測(cè)量顯微鏡的基本原理
           
            與STM類(lèi)似,在A(yíng)FM中,使用對(duì)微弱力非常敏感的彈性懸臂上的針尖對(duì)樣品表面作光柵式掃描。當(dāng)針尖和樣品表面的距離非常接近時(shí),針尖的原子與樣品表面的原子之間存在極微弱的作用力(10-12~10-6N),此時(shí),微懸臂就會(huì)發(fā)生微小的彈性形變。
           
            針尖與樣品之間的力F與微懸臂的形變之間遵循虎克定律:F=-k*x ,其中,k為微懸臂的力常數(shù)。所以,只要測(cè)出微懸臂形變量的大小,就可以獲得針尖與樣品之間作用力的大小。
           
            針尖與樣品之間的作用力與距離有強(qiáng)烈的依賴(lài)關(guān)系,所以在掃描過(guò)程中利用反饋回路保持針尖與樣品之間的作用力恒定,即保持為懸臂的形變量不變,針尖就會(huì)隨樣品表面的起伏上下移動(dòng),記錄針尖上下運(yùn)動(dòng)的軌跡即可得到樣品表面形貌的信息。這種工作模式被稱(chēng)為"恒力"模式(Constant Force Mode),是使用泛的掃描方式。
           
            AFM的圖像也可以使用"恒高"模式(Constant Height Mode)來(lái)獲得,也就是在X,Y掃描過(guò)程中,不使用反饋回路,保持針尖與樣品之間的距離恒定,通過(guò)測(cè)量微懸臂Z方向的形變量來(lái)成像。這種方式不使用反饋回路,可以采用更高的掃描速度,通常在觀(guān)察原子、分子像時(shí)用得比較多,而對(duì)于表面起伏比較大的樣品不適用。
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