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PAP系列產(chǎn)品方面,備有風(fēng)量為5/10/20m3/min的3種型號產(chǎn)品,并分別可選擇是否配備HEPA過濾器。價格為201萬6000~304萬5000日元(含稅)。上述產(chǎn)品均可在18~30℃的范圍內(nèi)、以±0.1℃的精度控制溫度。另外,PEC系列產(chǎn)品的價格為172萬2000日元(含稅)??稍?0~60℃下以±0.05℃的精度進(jìn)行控制。
好利旺機(jī)械(OrionMachinery,總部:日本長野縣須坂市)開發(fā)出了可比原方式減少70%以上耗電量的溫度調(diào)節(jié)控制技術(shù)——“熱泵平衡控制”技術(shù)。該公司備有采用該技術(shù)的精密空調(diào)器“PAP”系列產(chǎn)品、以及精密冷水機(jī)(Chiller)“PEC”系列產(chǎn)品。適用于以下用途:在精密模具以及球面加工等精細(xì)加工時,調(diào)整裝置及工件的溫度;在半導(dǎo)體保護(hù)層涂覆工序中,為了確保膜厚精度,調(diào)節(jié)周圍環(huán)境以及保護(hù)液的溫度。
該公司開發(fā)的熱泵平衡控制技術(shù),利用了家用熱水器等采用的熱泵循環(huán)原理。 另外,通過配管方式及控制技術(shù)的改進(jìn),使制冷劑更均衡地分流,因此,可根據(jù)產(chǎn)生熱量的變動進(jìn)行控制。耗電量為3.2kW,與使用電加熱器的PID控制精密空調(diào)器相比,節(jié)省了73%的能量。在制冷機(jī)方面,配備了以前產(chǎn)品一直采用的DC無刷馬達(dá),由此,比配備AC伺服馬達(dá)的制冷機(jī)提高了約30%的效率。
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