振動傳感器保養(yǎng)技巧

2020年09月08日 10:14:54人氣：323來源：上海工皇傳感器有限公司

　　振動傳感器保養(yǎng)技巧，利用單晶硅材料的壓阻效應(yīng)和集成電路技術(shù)制成的傳感器。單晶硅材料在受到力的作用后，電阻率發(fā)生變化，通過測量電路就可得到正?比于力變化的電信號輸出。壓阻式傳感器用于壓力、拉力、壓力差和可以轉(zhuǎn)變?yōu)榱Φ淖兓钠渌锢砹?如液位、加速度、重量、應(yīng)變、流量、真空度)的測量和控制。

　　壓阻式傳感器的結(jié)構(gòu)

　　這種傳感器采用集成工藝將電阻條集成在單晶硅膜片上，制成硅壓阻芯片，并將此芯片的周邊固定封裝于外殼之內(nèi)，引出電極引線。壓阻式壓力傳感器又稱為固態(tài)壓力傳感器，它不同于粘貼式應(yīng)變計需通過彈性敏感元件間接感受外力，而是直接通過硅膜片感受被測壓力的。

　　硅膜片的一面是與被測壓力連通的高壓腔，另一面是與大氣連通的低壓腔。硅膜片一般設(shè)計成周邊固支的圓形，直徑與厚度比約為20～60。在圓形硅膜片定域擴(kuò)散4條P雜質(zhì)電阻條，并接成全橋，其中兩條位于壓應(yīng)力區(qū)，另兩條處于拉應(yīng)力區(qū)，相對于膜片中心對稱。

　　此外，也有采用方形硅膜片和硅柱形敏感元件的。硅柱形敏感元件也是在硅柱面某一晶面的一定方向上擴(kuò)散制作電阻條，兩條受拉應(yīng)力的電阻條與另兩條受壓應(yīng)力的電阻條構(gòu)成全橋。

　　壓阻式傳感器是根據(jù)半導(dǎo)體材料的壓阻效應(yīng)在半導(dǎo)體材料的基片上經(jīng)擴(kuò)散電阻而制成的器件。其基片可直接作為測量傳感元件，擴(kuò)散電阻在基片內(nèi)接成電橋形式。

　　特點(diǎn)

　　借助振動水平計可輕松確認(rèn)、設(shè)定ON/OFF輸出。

　　通過AC監(jiān)控器輸出確認(rèn)振動波形

　　傳感器部分采用IP67保護(hù)結(jié)構(gòu)，在惡劣環(huán)境中也能使用

　　可切換加速度、速度(線性輸出型)

　　利用5種處理模式進(jìn)行高精度的異常狀態(tài)判定 (手動設(shè)定型)

　　技術(shù)參數(shù)

　　傳感器部分

　　分類手動設(shè)定型線性輸出型

　　D7F-S01-05/D7F-S01-10 D7F-S03-05

　　靈敏度 * 5.1mV (m/s2)(TYP.) 5.1mV (m/s2) ±20% (100Hz時)

關(guān)鍵詞：電阻率壓阻式壓力傳感器壓力傳感器

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