三分量振動(dòng)傳感器

2020年09月07日 17:09:18人氣：217來源：上海工皇傳感器有限公司

　　三分量振動(dòng)傳感器

　　利用單晶硅材料的壓阻效應(yīng)和集成電路技術(shù)制成的傳感器。單晶硅材料在受到力的作用后，電阻率發(fā)生變化，通過測量電路就可得到正?比于力變化的電信號輸出。壓阻式傳感器用于壓力、拉力、壓力差和可以轉(zhuǎn)變?yōu)榱Φ淖兓钠渌锢砹?如液位、加速度、重量、應(yīng)變、流量、真空度)的測量和控制。

　　壓阻式傳感器的結(jié)構(gòu)

　　這種傳感器采用集成工藝將電阻條集成在單晶硅膜片上，制成硅壓阻芯片，并將此芯片的周邊固定封裝于外殼之內(nèi)，引出電極引線。壓阻式壓力傳感器又稱為固態(tài)壓力傳感器，它不同于粘貼式應(yīng)變計(jì)需通過彈性敏感元件間接感受外力，而是直接通過硅膜片感受被測壓力的。

　　硅膜片的一面是與被測壓力連通的高壓腔，另一面是與大氣連通的低壓腔。硅膜片一般設(shè)計(jì)成周邊固支的圓形，直徑與厚度比約為20～60。在圓形硅膜片定域擴(kuò)散4條P雜質(zhì)電阻條，并接成全橋，其中兩條位于壓應(yīng)力區(qū)，另兩條處于拉應(yīng)力區(qū)，相對于膜片中心對稱。

　　此外，也有采用方形硅膜片和硅柱形敏感元件的。硅柱形敏感元件也是在硅柱面某一晶面的一定方向上擴(kuò)散制作電阻條，兩條受拉應(yīng)力的電阻條與另兩條受壓應(yīng)力的電阻條構(gòu)成全橋。

　　壓阻式傳感器是根據(jù)半導(dǎo)體材料的壓阻效應(yīng)在半導(dǎo)體材料的基片上經(jīng)擴(kuò)散電阻而制成的器件。其基片可直接作為測量傳感元件，擴(kuò)散電阻在基片內(nèi)接成電橋形式。

　　產(chǎn)品簡介: 應(yīng)用范圍：鐵路、公路、礦山、地質(zhì)、石油等部門監(jiān)測路基、巷道等的三方向主動(dòng)源或被動(dòng)源振動(dòng)（震動(dòng)）信號。典型應(yīng)用：鐵路路基運(yùn)行前、運(yùn)行中分層振動(dòng)信號監(jiān)測采集。技術(shù)參數(shù)：類型：速度型傳感器尺寸：150mm X 100mm X 64mm 自然頻率(Hz)：28±5% 靈敏度G (v/cm.s-1)：0.75±5% 安裝靈活：可選用石膏、膠劑、螺栓、釘腳等方式安裝；輸出方式：4芯屏敝電纜，單端電壓輸出，無須供電；工作溫度(℃)：-40℃～+70℃，適宜實(shí)驗(yàn)室及野外使用；

關(guān)鍵詞：電阻率壓阻式壓力傳感器壓力傳感器

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