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          壓力傳感器

          2020年08月19日 09:05:05人氣:255來(lái)源:上海工皇傳感器有限公司

            壓力傳感器,隨著晶體管變小,它們變得更快,并且更多的晶體管可以放置在同樣的硅面積:微處理器中的數(shù)字電路密度因此增加了一個(gè)數(shù)量級(jí)。然而,微處理器的能量密度也顯著提高,由于這種現(xiàn)代微處理器的熱容量有限,因此需要*的熱管理系統(tǒng)來(lái)優(yōu)化其性能,同時(shí)保持可靠性。
           
            這需要小型、快速和準(zhǔn)確的溫度傳感器。然而,在獨(dú)立應(yīng)用中廣泛應(yīng)用的基于BJT的傳感器在現(xiàn)代CMOS工藝中實(shí)現(xiàn)時(shí),其性能下降。BJT不像CMOS器件那樣縮小尺寸,基于BJT的傳感器的誤差急劇增加,達(dá)到幾攝氏度。這使得目前和未來(lái)大規(guī)模集成電路技術(shù)中熱管理系統(tǒng)的需求難以滿足。本論文將探討一種不同的溫度傳感原理,使得在現(xiàn)代CMOS工藝中實(shí)現(xiàn)更小、更精確、更節(jié)能的傳感器成為可能。這種傳感器測(cè)量熱量在硅中擴(kuò)散所需的時(shí)間。由于硅中的聲子輸運(yùn)與溫度密切相關(guān),這種熱飛行時(shí)間傳感器的延遲是溫度的測(cè)量。由于集成電路中使用的硅是非常純凈的,因此所提出的傳感機(jī)制可以非常精確。
           
            此外,由于光學(xué)光刻技術(shù)的不斷改進(jìn),可以越來(lái)越精確地確定飛行時(shí)間的測(cè)量距離。與基于BJT的傳感器相比,該傳感器應(yīng)遵循摩爾定律,從而在現(xiàn)代CMOS工藝中提供更好的溫度傳感性能。這將為大型數(shù)字芯片的熱管理提供一個(gè)有效且經(jīng)得起未來(lái)考驗(yàn)的解決方案。其他應(yīng)用也可能受益于所提出的傳感器,因?yàn)樗褂昧伺c現(xiàn)有傳感器根本不同的傳感原理。本文將討論這種熱飛行時(shí)間傳感器的建模與實(shí)現(xiàn)。它還將顯示所需的電路讀出和數(shù)字化他們的輸出。隨后將介紹一些測(cè)量結(jié)果,然后得出關(guān)于這種新型傳感器家族的可行性和有用性的結(jié)論。本章將繼續(xù)概述現(xiàn)有的溫度傳感器及其應(yīng)用,包括其優(yōu)缺點(diǎn)。然后,根據(jù)現(xiàn)有的現(xiàn)有技術(shù)及其未來(lái)的潛力,對(duì)所提出的傳感器進(jìn)行定位。本章后概述了本文的結(jié)構(gòu)。
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