離子減薄儀 型號:WJ24-2102T

庫號：M406702   查看hh

2102T 型離子減薄儀：
1.1 工作環(huán)境要求(Service Requirements)
1.1.1 電源（Electricity）： 1.2kW AC 220 ~ 240V 50Hz
1.1.2 氣源 (Gas)： > 0.1MPa(1kg/cm2 ) 氬氣
1.2 參數(shù)(specifications)
1.2.1 高壓電源（High voltage supply×2）： 0 ~ 10kV (連續(xù)可調(diào)，短路保護)
1.2.2 離子束電流（Total current）： 0 ~ 1mA
1.2.3 離子束掠射角（Beam incidence angle）： 0°~ 45°（雙面）
1.2.4 自動保護（Auto-shutdown）： 高壓 (high voltage)，
1.2.5 樣品旋轉 (specimen rotation)
1.2.6 抽真空速率（Pumping speeds）： 分子加速泵 67L/min/ 隔膜泵 150L/m1.2.7 樣品（Specimen×1）： 3 毫米直徑 (3mm diameter)
1.2.8 樣品減薄速率： 40μ m/h(Cu)
1.2.9 重量及外形尺寸（Weight and size）： 30kg，420mm×520mm×700mm