流量測(cè)量技術(shù)之微小流量的測(cè)量    
半導(dǎo)體制造業(yè)、生物工程、精細(xì)化工等的興起，使流量測(cè)量向低端延伸，小流量計(jì)流量的要求在上世紀(jì)80∽90年代凸顯起來(lái)。何謂小流量?業(yè)界尚無(wú)*的定義和界限，小流量因應(yīng)用領(lǐng)域而異是一個(gè)模糊的概念。管道小流量測(cè)量體現(xiàn)于管徑小和流速低兩個(gè)層次，就流程工業(yè)而言，習(xí)慣上DN10甚至DN15以下管徑流量測(cè)量稱(chēng)之小流量測(cè)量，通常其流量值液體為1L/min或0.06m3/h以下，流量?jī)x表滿(mǎn)度流量時(shí)的流速低于0.1m/s。
1、測(cè)量方法
傳統(tǒng)小流量測(cè)量技術(shù)節(jié)流差壓(層流)法、浮子法和容積法等有了的改進(jìn)，新測(cè)量技術(shù)如超聲法、熱法、科里奧利法等也有成效地應(yīng)于液體和氣體小流量測(cè)量。
2、特點(diǎn)
微小流量與一般流量測(cè)量相比較，具有以下特點(diǎn)。
1)雷諾數(shù)低
一般管道流動(dòng)均為紊流流動(dòng)，流量?jī)x表也是針對(duì)紊流流動(dòng)態(tài)設(shè)計(jì)的，而小流量?jī)x表因管徑小常處于層流流動(dòng)(例如管內(nèi)徑6mm，流量0.05L/min，Re為1800或?qū)恿?/span>/紊流過(guò)渡區(qū)流態(tài)流動(dòng)，小流量測(cè)量受使用中流體黏度變化影響頗大。
2)要用實(shí)際使用流體校準(zhǔn)
液體流量?jī)x表一般用水校準(zhǔn)，氣體用空氣校準(zhǔn)。若知道實(shí)際測(cè)量流體與校準(zhǔn)流體間某些物性不同對(duì)示值有規(guī)律變化時(shí)，中大管徑流量?jī)x表常以適當(dāng)系數(shù)修正。但有些小流量?jī)x表受黏度等流體物性影響大，須以實(shí)際使用流體校準(zhǔn)。所幸流量小，用實(shí)際使用流體校準(zhǔn)難度不大，但在作有害性流體校準(zhǔn)時(shí)應(yīng)注意安全和環(huán)境污染。
3)要求測(cè)量時(shí)防止污染流體
若測(cè)量潔凈氣體和純水常不允許接觸流體的儀表零件材料析出離子，例如半導(dǎo)體制備中儀表不能用金屬和玻璃制成，只能用塑料。流體中也不允許混入活動(dòng)件的磨蝕塵粒。流量?jī)x表流通通道要盡可能簡(jiǎn)單，不應(yīng)有潴留(指液體在體內(nèi)不正常地聚集停留)部位，防止潴留介質(zhì)變質(zhì)。
4)氣泡和塵埃附著的影響
因管徑小黏性增加，液體中微細(xì)氣泡易在管系流動(dòng)過(guò)程中積聚變大，使測(cè)量時(shí)指示不穩(wěn)，度下降。流體中塵埃附著測(cè)量元件也要影響測(cè)量值，例如浮子流量計(jì)的浮子上沉積有肉眼覺(jué)察不出的附著層也會(huì)影響示值。
5)流量?jī)x表品種使用上受到一定限制
在眾多測(cè)量原理流量?jī)x表中，因各種原因小流量應(yīng)用受到一些限制，當(dāng)前能應(yīng)用于小流量的品種如表格所示