MEMS

2015年壓力傳感器行業(yè)分析報(bào)告

一、壓力傳感器情況：

（

1

）傳感器的定義

國(guó)家標(biāo)準(zhǔn)

GB7665-87

對(duì)傳感器下的定義是：

“能感受規(guī)定的被測(cè)量并按照一定的規(guī)律轉(zhuǎn)

換成可用信號(hào)的器件或裝置，通常由敏感元件和轉(zhuǎn)換元件組成”

。壓力傳感器是一種檢測(cè)裝

置，

能感受到被測(cè)量的信息，

并能將檢測(cè)感受到的信息，

按一定規(guī)律變換成為電信號(hào)或其他

所需形式的信息輸出，以滿足信息的傳輸、處理、存儲(chǔ)、顯示、記錄和控制等要求。它是實(shí)

現(xiàn)自動(dòng)檢測(cè)和自動(dòng)控制的首要環(huán)節(jié)。

（

2

）傳感器的分類方法

目前對(duì)傳感器尚無(wú)一個(gè)統(tǒng)一的分類方法，但比較常用的有如下三種：

1.

按被測(cè)物理量分：如：力，壓力，位移，溫度，角度傳感器等；

2.

按照傳感器的工作原理分：如：應(yīng)變式傳感器、壓電式傳感器、壓阻式傳感器、電感式傳

感器、電容式傳感器、光電式傳感器等；

3.

按照傳感器轉(zhuǎn)換能量的方式分：能量轉(zhuǎn)換型：如：壓電式、熱電偶、光電式傳感器等；能

量控制型：如：電阻式、電感式、霍爾式等傳感器以及熱敏電阻、光敏電阻、濕敏電阻等。

4.

按照傳感器工作機(jī)理分：結(jié)構(gòu)型：如：電感式、電容式傳感器等；物性型：如：壓電式、

光電式、各種半導(dǎo)體式傳感器等。

5.

按照傳感器輸出信號(hào)的形式分：模擬式：傳感器輸出為模擬電壓量；數(shù)字式：傳感器輸出

為數(shù)字量，如：編碼器式傳感器。

（

3

）壓力傳感器

壓力傳感器是傳感器的一種，感知對(duì)象為壓力，包括傳統(tǒng)機(jī)械壓力傳感器和

MEMS

微

機(jī)電系統(tǒng)壓力傳感器兩大類：

傳統(tǒng)的機(jī)械量壓力傳感器是基于金屬?gòu)椥泽w受力變形，

由機(jī)械

量彈性變形到電量轉(zhuǎn)換輸出；微機(jī)電系統(tǒng)（

MEMS

）壓力傳感器從工作原理上來(lái)說(shuō)一般分為

壓阻式傳感器和電容式傳感器，能完成傳統(tǒng)機(jī)械傳感器不能完成的功能。

相對(duì)于傳統(tǒng)的機(jī)械量傳感器，

MEMS

壓力傳感器的尺寸更小，

zui大的不超過(guò)

1cm

，使性

價(jià)比相對(duì)于傳統(tǒng)“機(jī)械”制造技術(shù)大幅度提高。

二、

MEMS

壓力傳感器是壓力傳感器行業(yè)發(fā)展的主流方向：

近二十年來(lái)，

壓力傳感器行業(yè)明顯加快了壓阻式替代淘汰應(yīng)變式、

厚膜陶瓷式壓力傳感

器，

MEMS

技術(shù)逐步成為產(chǎn)業(yè)化的主流。

1.

MEMS

壓力傳感器的優(yōu)勢(shì)：

目前，

MEMS

壓力傳感器是傳感器發(fā)展的主流方向，

未來(lái)將替代傳統(tǒng)各式傳感器。

MEMS

傳感器是采用微電子和微機(jī)械加工技術(shù)制造出來(lái)的新型傳感器。

與傳統(tǒng)的傳感器相比，

它具

有體積小、重量輕、成本低、功耗低、可靠性高、適于批量化生產(chǎn)、易于集成和實(shí)現(xiàn)智能化

的特點(diǎn)。

同時(shí)，

在微米量級(jí)的特征尺寸使得它可以完成某些傳統(tǒng)機(jī)械傳感器所不能實(shí)現(xiàn)的功

能。