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只需將測量對象放在座標(biāo)臺上,然后按下按鈕。它能在數(shù)秒內(nèi)測量99處,重復(fù)精度達(dá)0.5微米。其智能模式分析檢索系統(tǒng)(iPASS)可確定測量對象的位置和方向,并與所記錄的測量物形狀進(jìn)行對比。
100毫米的雙遠(yuǎn)心鏡頭能在一張圖片中捕捉整個測量對象,同時測量所有點。該技術(shù)可捕捉像素,猶如鏡頭被垂直放置。這樣,測量不會受到變形或距離的影響。此外,測量數(shù)據(jù)還能以報表形式保存和導(dǎo)出或存儲至統(tǒng)計軟件包中。它可以測量所有尺寸,從內(nèi)部直徑、圓的間距和角度到zui復(fù)雜的尺寸。
測量的穩(wěn)定性是IM系列的一個重要特性。用zui小二乘法進(jìn)行擬合確保了邊緣檢測的穩(wěn)定性,即使是邊緣點序列因噪聲或其它因素發(fā)生錯位。IM-6000系列能確保邊緣檢測穩(wěn)定性的另一種方式是忽略異常邊緣點,即使是在測量對象有毛邊或碎屑,并導(dǎo)致zui小二乘法擬合時發(fā)生錯誤的情況下。由于擁有0.01的像素精度,基恩士公司的子像素處理系統(tǒng)檢測到的邊緣位置比常規(guī)的系統(tǒng)更準(zhǔn)確。當(dāng)通過肉眼人工檢查邊緣時,操作者之間存在的差異幾乎是不可能避免的。此外,該系統(tǒng)在測量尺寸時無需移動XY軸載物臺,從而消除了因振動引起的誤差。
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