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上述產(chǎn)品使用了所謂的“垂直霍爾片”。我們和Fraunhofer集成電路研究院(FhGIIS)緊密合作,為這種新型傳感器專門開發(fā)了這些契合Micronas制程的霍爾片。Micronas*應(yīng)用了被稱為“Hall-in-One”的pixelcell像素技術(shù),并將其調(diào)整應(yīng)用于HAL36xy/HAL38xy系列。這些傳感器系列包括7個(gè)不同的產(chǎn)品,因而覆蓋了從離合器位置或空檔檢測到方向盤角度測量的廣泛應(yīng)用。
Micronas是成功將使用“垂直霍爾技術(shù)”的傳感器引入汽車應(yīng)用,并且處于的霍爾效應(yīng)傳感器制造商。
從前,角度測量只能用集成的通量集中器或者復(fù)雜雙列AMR(各向異性磁阻)傳感器來實(shí)現(xiàn),而現(xiàn)在可以用一個(gè)標(biāo)準(zhǔn)的CMOS過程來完成。與AMR技術(shù)相反,由于垂直霍爾技術(shù)的幫助,可以用單個(gè)產(chǎn)品就實(shí)現(xiàn)對上至360°的角度以及線性距離進(jìn)行測量。Micronas所開發(fā)的方案,其主要優(yōu)勢在于使用了所謂的“pixelcell”像素。它由兩個(gè)垂直霍爾片和一個(gè)水平霍爾片組成。有了pixelcell像素,就可以在一個(gè)點(diǎn)上測量三個(gè)磁場分矢量。平行于傳感器表面的磁力線由垂直霍爾片測量,垂直于傳感器表面的磁力線由水平霍爾片測量。
HAL36xy只使用兩個(gè)垂直霍爾片Bx和By,而HAL38xy使用水平霍爾片以及垂直霍爾片的其中一片。視不同的傳感器型號(hào),客戶可以選擇想要的霍爾片組合。Bx和Bz活躍,或By和Bz活躍。另外,可選擇兩種輸出信號(hào)格式(脈寬調(diào)制或者模擬信號(hào))。
HAL36xy系列理想的應(yīng)用是上至360°的角度測量,比如方向盤角度測量。為此,主要使用一個(gè)徑向充磁的磁鐵,和傳感器表面平行傳動(dòng)。兩個(gè)垂直霍爾片相互垂直放置,同時(shí)產(chǎn)生正弦和余弦信號(hào)。傳感器自動(dòng)計(jì)算反正切數(shù)值,并轉(zhuǎn)換為模擬或數(shù)字輸出信號(hào)。
輸出信號(hào)和測得的角度是直接等比例的?;诜凑蟹治?,磁鐵的氣隙變化和磁鐵溫度反應(yīng)對改種測量方法影響極小。這些傳感器的設(shè)計(jì)工作溫度范圍是–40℃到170℃(裸片溫度),并提供多種診斷功能。傳感器自帶的自檢在*個(gè)通電旋轉(zhuǎn)圈進(jìn)行,確保傳感器線路功能正常。傳感器可以檢測到過壓或者欠壓狀態(tài),并在輸出信號(hào)中表示出來。用戶也可以定義應(yīng)用的磁場強(qiáng)度范圍。如果磁場強(qiáng)度超過了特定范圍,傳感器可以顯示出錯(cuò)信號(hào)。該范圍可以由用戶定義并編程。對傳感器的編程是通過一個(gè)對用戶友好的圖形界面軟件工具來實(shí)現(xiàn)的。
帶有垂直和水平霍爾片的HAL38xy主要用于線性位移應(yīng)用,測量距離可以比磁鐵長度長50%。用一個(gè)長度為10mm的磁鐵,可以測量大于等于15mm的距離。在此應(yīng)用中,一個(gè)軸向充磁的磁鐵平行于傳感器表面運(yùn)動(dòng)。用合適的磁鐵可以進(jìn)行更長距離的測量。
在傳統(tǒng)的單維度測量傳感器應(yīng)用中,磁鐵長度必須要設(shè)計(jì)成比被測量的位移長30%。因而使用二維傳感器所相對增加的成本,會(huì)輕而易舉地被昂貴磁性材料的節(jié)約彌補(bǔ)掉。所以,在提升性能的同時(shí),也實(shí)現(xiàn)了成本優(yōu)勢。
HAL38xy另一個(gè)可能的應(yīng)用是在軸邊的角度測量。一個(gè)徑向充磁的磁鐵固定在軸上,在傳感器邊旋轉(zhuǎn)。如果兩個(gè)磁場反正切計(jì)算提供了理想的正弦余弦相關(guān)曲線,反正切可以為角度提供一個(gè)線性關(guān)系。這并不是在所有的應(yīng)用中都可以實(shí)現(xiàn)的。理想的軸邊角度測量設(shè)置只能通過特殊的磁鐵實(shí)現(xiàn)。如使用傳統(tǒng)的磁鐵,則需要在反正切計(jì)算之后再進(jìn)行線性化。為完成這一任務(wù),HAL38xy和HAL36xy提供了32點(diǎn)標(biāo)定來使得輸出信號(hào)線性化。
其他的傳感器制造商如今也再嘗試使用垂直霍爾技術(shù)(比如,霍爾開關(guān)等簡單產(chǎn)品),這一事實(shí)證明了該技術(shù)的吸引力。Micronas很早就實(shí)施了垂直霍爾傳感器技術(shù),因而如今成為該領(lǐng)域的市場。隨著下一代直接角度傳感器的推出,Micronas將擴(kuò)大其對市場的。新一代產(chǎn)品將有進(jìn)一步改善的角度測量表現(xiàn),提供更高測量精度,更低的通量密度下限值,使產(chǎn)品可以在弱得多得到磁場中使用。
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