1. 插入選區(qū)光欄,套住欲分析的物相,調整中間鏡電流使選區(qū)光欄邊緣清晰,此時選區(qū)光欄平面與中間鏡物平面生重合;
2. 調整物鏡電流,使選區(qū)內物象清晰,此時樣品的一次象正好落在選區(qū)光欄平面上,即物鏡象平面,中間鏡物面,光欄面三面重合;
3. 抽出物鏡光欄,減弱中間鏡電流,使中間鏡物平面移到物鏡背焦面,熒光屏上可觀察到放大的電子衍射花樣
4. 用中間鏡旋鈕調節(jié)中間鏡電流,使中心斑zui小zui園,其余斑點明銳,此時中間鏡物面與物鏡背焦面相重合。
5. 減弱第二聚光鏡電流,使投影到樣品上 的入射束散焦(近似平行束),攝照(30s左右)
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