Verios 5 XHR SEM掃描電鏡

Verios 5 XHR SEM掃描電鏡采用好的材料對(duì)比度在全 1 keV-30 keV 能量范圍內(nèi)提供亞納米級(jí)分辨率。自動(dòng)化和易用性使任何經(jīng)驗(yàn)水平的用戶都能使用該性能。

體驗(yàn) Verios XHR SEM掃描電鏡所提供的優(yōu)勢(shì)：

• 使用行業(yè)*的電子源單色器UC+實(shí)現(xiàn)高分辨率納米材料成像，可在 1-30 kV 范圍內(nèi)實(shí)現(xiàn)亞納米性能。
• 對(duì)電子束敏感材料性能好，具有 20 eV 著陸能量和高靈敏度電子鏡筒內(nèi)和透鏡下檢測(cè)器以及信號(hào)過(guò)濾，可實(shí)現(xiàn)在低劑量條件下獲取超高分辨率和高信噪比圖像。
• 憑借采用 SmartAlign 和 FLASH 技術(shù)的 Elstar 電子束鏡筒，可大大縮短各種經(jīng)驗(yàn)水平的用戶獲得納米級(jí)信息的時(shí)間。
• 借助 ConstantPower 透鏡、靜電掃描和兩種高精度壓電陶瓷載物臺(tái)的選擇，獲得一致的測(cè)量結(jié)果。
• 配備大腔室，配件的靈活性高。
• 使用 Thermo Scientific AutoScript 4 軟件（可選配的基于 Python 的應(yīng)用程序編程界面）實(shí)現(xiàn)儀器無(wú)人自動(dòng)化 SEM 操作。

Verios 5 XHR SEM掃描電鏡的主要特點(diǎn)

SmartAlign 技術(shù)

使用 SmartAlign 技術(shù)時(shí)，用戶無(wú)需對(duì)電子束鏡筒進(jìn)行任何對(duì)中，這不僅能大限度地減少維護(hù)，還能提高電鏡生產(chǎn)率。

亞納米級(jí)分辨率

Elstar Schottky 電子源單色器（UC+）FESEM 技術(shù)和性能，實(shí)現(xiàn)從 1 至 30 keV 的亞納米級(jí)分辨率。

低劑量操作和較佳對(duì)比度選擇

結(jié)合了*的高靈敏度、鏡筒內(nèi) & 透鏡下探測(cè)器和信號(hào)過(guò)濾功能 可實(shí)現(xiàn)低劑量操作和較佳襯度選擇。

無(wú)人照看的 SEM 運(yùn)行

借助 AutoScript 4 軟件，可選配基于 Python 的應(yīng)用程序編程界面 (API)。

創(chuàng)新的電子光學(xué)系統(tǒng)

包括 Thermo Scientific 獲得的 UC+（單色器）電子槍、ConstantPower 透鏡和靜電掃描，可實(shí)現(xiàn)準(zhǔn)確穩(wěn)定的成像。

一致的測(cè)量結(jié)果

Verios 掃描電鏡非常適合實(shí)驗(yàn)室計(jì)量應(yīng)用，能夠在高放大倍數(shù)下校準(zhǔn)經(jīng) NIST 認(rèn)證的標(biāo)準(zhǔn)品。

輕松訪問(wèn)射束著陸能量

低至 20 eV 也可實(shí)現(xiàn)用于表面表征的高分辨率。

大腔室

可從兩種高準(zhǔn)確穩(wěn)定的壓電陶瓷驅(qū)動(dòng)樣品臺(tái)中進(jìn)行選擇。