Prep-2型 等離子清洗/刻蝕機；
* 真空艙體 Φ100mm × L270 mm 水平 （2 升）
* 不銹鋼艙體  
* 40KHz 射頻發(fā)生器
* 高效針孔電極 
* 銅氣體管、氣體流量計、針閥
* 使用氣體流量計和針閥控制氣體
* 自動計時器控制等離子處理過程 
* 半自動控制
* 功率連續(xù)可調 0-100W
* 自動阻抗匹配
* 自由設置參數(shù)：處理時間、功率、氣體
* 安全保護功能：真空觸發(fā)、艙門鎖
* 電磁閥保護，回流油霧不能進入艙體
* 規(guī)格：W345 mm×H220 mm× D420 mm
* 電源：AC 220V/50Hz 
* 真空泵：萊寶Leybold Type S1.5（1.5m3/h）

選裝件
* 13.56 MHz 射頻發(fā)生器
* 2.45 GHz 射頻發(fā)生器
* 硅酸鹽艙體（外置環(huán)形電極）或石英艙體

配件選裝指南:
•  13.56MHz射頻發(fā)生器  
•  2.45GHz射頻發(fā)生器
 •  半自動控制系統(tǒng)
 •  全自動控制系統(tǒng) - 操作輕松簡便的控制系統(tǒng)
•  計算機（PC）控制系統(tǒng) - 操作輕松簡便的控制系統(tǒng)同時可記錄處理的整個過程
•  附加氣體通路
  •  自動真空艙門 •  設備自動門
 •  條碼閱讀器
 •  偏壓測量系統(tǒng)
 •  碟型閥
 •  排氣過濾系統(tǒng)
 •  適用于腐蝕性氣體系統(tǒng)
 •  艙體托盤可訂做 - 適合艙體的*尺寸
 •  粉末處理裝置
 •  法拉第容器 
•  氣體供給系統(tǒng) - 在等離子聚合過程中提供密度均勻的單體
•  玻璃艙體（硅酸鹽或石英） 
•  預熱板
 •  等離子測量傳感器 - 應用在等離子聚合過程和含腐蝕性環(huán)境中
 •  真空泵抽氣入口過濾器
 •  標簽打印機
 •  標簽閱讀機
  •  加深艙體
 •  單體瓶 - 輕松的控制不穩(wěn)定的液體含量 
•  網(wǎng)絡連接系統(tǒng)
 •  聚合處理附件
 •  氣瓶出氣減壓閥
  •  石英玻璃皿
 •  卷軸艙體系統(tǒng)- 適用于批量處理薄膜、箔等 
 •  RIE電極（適用于刻蝕）
 •  旋轉艙體系統(tǒng) - 適用于纖維、紡輪、顆粒狀等樣品的均勻、批量處理         
 •  安全閥
•  服務條約 - 使用易燃、易爆性氣體，例如：氫氣、乙炔…
  •  附加的配件 
 •  特殊的電極和托盤  
•  特殊法蘭/附加法蘭 
•  特殊軟件
 •  特殊真空艙體 
•  過程溫度測量 
•  測試墨水（用于測試表面接觸角）
  •  真空泵系統(tǒng)