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          行業(yè)產(chǎn)品
          
							
						
          
						
            
							
          • 行業(yè)產(chǎn)品
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          北京艾爾利達(dá)科技有限公司
                                
                
                
          

							
          
                        			
          
		
          
	
          
	
	
          
		
          
            
          
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          TREK645/646 靜電卡盤電源
          
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          具體成交價(jià)以合同協(xié)議為準(zhǔn)
          
				
          
			
			
          
				
          
					
            
						
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							更新時(shí)間：2023-01-09 17:52:46瀏覽次數(shù)：1648次
						
          
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          經(jīng)營(yíng)模式：經(jīng)銷商
          
						
          商鋪產(chǎn)品：88條
          
						
          所在地區(qū)：北京北京市
          
						
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                    產(chǎn)品簡(jiǎn)介
                
          
				
          
                      
          
                                                                      
          
					
          TREK645/646 靜電卡盤電源
          TREK 645軟件驅(qū)動(dòng)式靜電卡盤電源，可滿足各種要求苛刻的應(yīng)用，消除了晶片粘貼及晶片爆裂的情況，能夠更好地控制顆粒物對(duì)晶片的污染。
          
				
          
				
          
                    詳細(xì)介紹
                
          
			    
          
			        
          
			            
          TREK645/646 靜電卡盤電源
          TREK 645軟件驅(qū)動(dòng)式靜電卡盤電源，可滿足各種要求苛刻的應(yīng)用，*消除了晶片粘貼及晶片爆裂的情況，能夠更好地控制顆粒物對(duì)晶片的污染。
          應(yīng)用
          TREK645擁強(qiáng)大的性能及通用性，可用于多種*的工具/工藝，而不需要為每種不同的工具/工藝選配一種新電源。并內(nèi)置抓取晶片檢測(cè)功能（臨界值可通過(guò)程序設(shè)置）：指明晶片抓取事件，由低壓正弦波產(chǎn)生的電容性電流，在相位A及相位B輸出上疊加合成，可被監(jiān)測(cè)但是也可通過(guò)程序設(shè)置禁用。疊加波形用于指示無(wú)晶片，有晶片，或晶片夾緊狀態(tài)。
          靜電吸附驅(qū)動(dòng)的材料抓取搬運(yùn)；半導(dǎo)體晶片加工；平板及其它加工材料的非機(jī)械化轉(zhuǎn)移，材料不適合機(jī)械夾持方法的。
          輸出相位
          同步高壓輸出：兩個(gè)同步高壓輸出（輸出相位A及輸出相位B）幅度相同，極性與補(bǔ)償電壓相反。
          電壓A（基準(zhǔn)相位）: 0 to ±2KV 
          電壓B（相位B=[-1]x 相位A）：0 to ±2KV 
          輸出電壓范圍：0 to ±2KV DC
          輸出電流范圍：0 to ±6.5mA DC 峰值容量10mA
          內(nèi)部控制
          補(bǔ)償電壓（此功能可通過(guò)程序禁用）：一個(gè)高達(dá)±2KV的補(bǔ)償電壓可同步添加到每個(gè)相位的輸出。不管A和B處的電壓和極性是什么，添加補(bǔ)償電壓后，補(bǔ)償電壓的幅值及極性同時(shí)在輸出A及B處出現(xiàn)。補(bǔ)償電壓和每個(gè)相位的輸出電壓總和不能超過(guò)±2KV。
          輸出波形：每個(gè)DC輸出電壓（相位A及相位B）的高低與時(shí)間的升降對(duì)稱 ，或者可通過(guò)用戶設(shè)定的夾持及松開(kāi)的波形來(lái)編輯。
          輸入
          設(shè)置高壓值：HV幅值可以通過(guò)設(shè)備在內(nèi)部或從外部控制
          設(shè)置補(bǔ)償電壓：補(bǔ)償電壓可以通過(guò)設(shè)備在內(nèi)部或從外部控制
          輸出電壓監(jiān)視器（背板連接器）
          輸出比：1 V/200 V
          相位B DC：精度優(yōu)于滿量程的2%
          偏移電壓：< 10mV 
          輸出雜訊：< 50mV rms
          穩(wěn)態(tài)電壓泄漏電流監(jiān)視器
          輸出比：1V/100μA
          DC 精度：±5μA
          輸出雜訊：< 50mV rms
          電容性負(fù)載選擇：根據(jù)系統(tǒng)及靜電卡盤的物理構(gòu)形，卡盤抓取的電容狀態(tài)范圍可通過(guò)程序在0-10，20 或30nF（相間）間選擇。
          參數(shù)
          尺寸：    43.7mm H x 421.6mm W x 457.3mm D
          面板寬度：    482.6mm
          重量：    3.86Kg
          連接器：     15針D型ITT Canon，用于連接遠(yuǎn)程監(jiān)控設(shè)備，9-針D型ITT Canon RS-232,3針 FCT D型 高壓，標(biāo)準(zhǔn)A型 USB，以太網(wǎng)（選配）及面
          板
          PowerON/OFF電源開(kāi)/關(guān)：     2位搖桿開(kāi)關(guān)
          運(yùn)行環(huán)境
          溫度：     0℃-35℃
          濕度：     達(dá)85%，無(wú)結(jié)露
          海拔高度：    達(dá)2000m
          電氣參數(shù)
          DC輸入接口：     2.0mm 鎖定DC 插孔，中心觸點(diǎn)為正極，殼部為負(fù)極（與Switchcraft S761K 插頭連接）
          接地：     接地螺栓
          電源要求：    24VDC，1.7A

          
			        
          
			    
          
                			    
          關(guān)鍵詞：連接器  監(jiān)視器
          
                                                				
			
          
			
          
		
          
	
          
	
    
          
		
          
			
          
				
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