ZR22G ZR202G ZR402G ZR22S、ZR202S橫河電機(jī)Yokogawa氧化鋯氧氣分析儀ZR22 ZR202 ZR402
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OX400橫河電機(jī)YOKOGAWA臺式微量氧分析儀OX400
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具體成交價以合同協(xié)議為準(zhǔn)- OX400 產(chǎn)品型號
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訪問次數(shù)：576更新時間：2022-02-16 08:04:54
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產(chǎn)品簡介
用于半導(dǎo)體擴(kuò)散爐和烘干爐，以及LCD制造工藝中的氧氣濃度控制，用于控制錫焊爐氣流和回流爐中氣體的氧氣濃度，以及電子制造中使用的手套箱和氣體生產(chǎn)工藝中氧氣濃度的測量，測量氧氣濃度，防止粉塵運輸中粉塵爆炸
產(chǎn)品介紹
特點：
使用壽命長，響應(yīng)速度快：
由于使用了橫河電機(jī)的新型薄膜沉積技術(shù)，傳感器的壽命周期提高了三倍
圓柱形傳感器設(shè)計便于置換被測氣體，確保高速響應(yīng)
高性能和高可靠性：
即使在低氧濃度下，仍具有*的精度和線性
在不同應(yīng)用中，可選擇泵式或抽提采樣方式
內(nèi)置功能和多種自診斷功能：
自帶多選擇器，自動量程，特定量程以及泵開/關(guān)功能
提供多種自診斷功能，以檢測故障，如加熱器溫度錯誤，溫度傳感器斷偶和傳感器電阻值錯誤
出眾的維護(hù)性：
可現(xiàn)場更換傳感器
小型輕量，易于安裝
主要技術(shù)參數(shù)：
| 測量對象 | 惰性氣體中的氧氣濃度 | ||||
| 測量系統(tǒng) | 氧化鋯系統(tǒng) | ||||
| 采樣方法 | 泵式、抽提式等 | ||||
| 樣氣條件 | 流速：200±25ml/min（僅適用于傳感器） | ||||
| 測量量程 | 0～10ppm O2至0～100vol% O2 | ||||
| 輸出量程 | 自動： | 0～10ppm，0～100ppm，0～1000ppm，0～1%，0～10%，0～*（默認(rèn)） | |||
| 固定： | 設(shè)為0～10ppm，0～100ppm，0～1000ppm，0～1%，0～10%，或0～* | ||||
| 部分： | 可設(shè)置下限值或上限值 | ||||
| 模擬輸出 | 2路輸出，第一路：4～20mA DC（zui大負(fù)載電阻550Ω），第二路：可選為0～1，0～5，0～10V DC（負(fù)載電阻：10kΩ或更大） | ||||
| 接點輸出 | 報警輸出2點： | 錯誤接點，O2濃度報警接點 | |||
| 量程范圍輸出1點： | 接點輸出 | ||||
| 多選擇器（選配件）： | 流路切換接點輸出和測量中流路信息接點輸出 | ||||
| 接點輸入 | 1點：采樣氣體吸入泵的遠(yuǎn)程ON/OFF | ||||
| 自診斷 | 故障： | 傳感器錯誤，加熱器溫度錯誤，溫度傳感器斷開，設(shè)備溫度錯誤，CPU錯誤，FAN停止 | |||
| 報警： | 加熱器不穩(wěn)定，傳感器錯誤，電動勢異常，非對稱電壓錯誤錯誤，標(biāo)定錯誤，傳感器電阻錯誤，O2濃度上/下限，超限 | ||||
| 串口通信 | RS-232，38400 bps | ||||
| 標(biāo)定方法 | （1）3點：10ppm，1000ppm，空氣，（2）2點：可設(shè)定為零點氣和量程氣標(biāo)定，（3）1點，（4）空氣標(biāo)定 | ||||
| 暖機(jī)時間 | 20分以內(nèi) | ||||
| 電源 | 100～120V AC/220～240V AC，50/60Hz | ||||
| 功耗 | 100～120V AC，200VA zui大，220～240V AC，400 VA zui大 | ||||
| 尺寸 | 213 （W） x 132 （H） x 約375 （D） mm | ||||
| 質(zhì)量 | 約5kg | ||||
| 管線連接 | 氣體入口：Rc1/4或1/4NPT內(nèi)螺紋 | ||||
| 環(huán)境條件 | 安裝條件： | 室內(nèi)，盤裝或壁裝，非易燃區(qū)域 | |||
| 環(huán)境溫度： | 0～40℃，無結(jié)露 | ||||
| 環(huán)境濕度： | 5～85%RH | ||||
| 儲存溫度： | -5～50℃ | ||||
| ±1%F.S.（10，100，1000 ppm，1%，10%或*） | |||||
| 線性 | ±2%F.S. | ||||
| 響應(yīng)時間 | 90%響應(yīng) | ||||
| 漂移 | ±2%F.S./周 | ||||
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