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質量流量控制器 庫存 庫號:D404976     質量流量控制器 庫存 庫號:D404976

D07-7是熱式質量流量計，質量流量控制器可以應用到對各種氣體進行測量和控制，除測量外還可以控制氣體的質量流量，質量流量計（MFM）可以測量氣體的質量流量 。D07-7產品是基礎款產品，能滿足大多數(shù)客戶流量測控基本需求。

流量量程 0~5sccm,10sccm,20sccm,30sccm,50sccm,100sccm,200sccm,300sccm,500sccm,1slm,2slm,3slm,5slm,10slm

產品精度±1.5％F.S.

重復精度±0.2% FS

線性±1％F.S.

響應時間≤10sec 氣特性≤4sec

工作溫度范圍(5~45)°C

耐壓3MPa

輸入輸出信號(0~+5)VDC

電源±15V

閥類型常閉

溫度系數(shù)

零點飄移指標- 無 -

電氣連接D sub 15 pins Female

工作壓差范圍(0.1～0.5) MPa

漏率1×10-8atm•cc / sec He（1×10-9 Pa•m3 / sec He）

標準接頭形式雙卡套Φ8,雙卡套Φ6,雙卡套Φ3,雙卡套1/8",φ4(內)×1軟管接頭,VCR1/4",雙卡套1/4",φ6(內)×1軟管接頭

表面化學成分- 無 -

表面粗糙度- 無 -

抗電磁干擾CE

重量 1.1kg