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雙電測(cè)四探針測(cè)試儀 庫(kù)存 庫(kù)號(hào)：M407314     雙電測(cè)四探針測(cè)試儀 庫(kù)存 庫(kù)號(hào)：M407314

技 術(shù) 指 標(biāo) ：

測(cè)量范圍

電阻率：10 -5 ～10 5 ?.cm( 可擴(kuò)展) ；

方塊電阻：10 -4 ～10 6 ?/ □ ( 可擴(kuò)展) ；

電導(dǎo)率：10 -5 ～10 5 s/cm ；

電阻：10 -5 ～10 5 ? ；

可測(cè)晶片厚度 ≤3mm

可測(cè)晶片直徑

140mmX150mm(配 配 S-2A 型測(cè)試臺(tái)) ；

200mmX200mm(配 配 S-2B 型測(cè)試臺(tái)) ；

400mmX500mm(配 配 S-2C 型測(cè)試臺(tái)) ；

恒流源

電流量程分為 1µA 、10µA 、100µA 、1mA 、10mA 、100mA 六檔，各檔電流

連續(xù)可調(diào)

數(shù)字電壓表

量程及表示形式 000.00 ～199.99 mV ；分辨力：10µV ；輸入阻抗＞1000M? ；

精度：±0.1% ；顯示：四位半紅色發(fā)光管數(shù)字顯示；極性、量程自動(dòng)顯示；

四探針探頭基本指標(biāo)

間距：1±0.01mm ；針間絕緣電阻：≥1000M? ； 機(jī)械游移率：≤0.3 ％；

探針：碳化鎢或高速鋼 Ф0.5mm ；探針壓力：5 ～16 牛頓( 總力) ；

模擬電阻測(cè)量相對(duì)誤差

( 按 按 JJG508-87 進(jìn)行)

0.01? 、0.1? 、1? 、10? 、100? 、1000? 、10000? ≤0.3 ％±1 字差 整機(jī)測(cè)量大相對(duì)誤差 ( 用硅標(biāo)樣片:0.01-180?.cm 測(cè)試) ≤±4 ％整機(jī)測(cè)量標(biāo)準(zhǔn)不確定度 ≤4 ％

測(cè)試標(biāo)準(zhǔn)

采用雙電測(cè)測(cè)試標(biāo)準(zhǔn)，通過 RTS-9 雙電測(cè)測(cè)試軟件控制四探針測(cè)試儀進(jìn)行測(cè)量并實(shí)時(shí)采集兩次組合模式下的電壓值，然后根據(jù)雙電測(cè)測(cè)試原理公式計(jì)算出電阻值。儀器主機(jī)也可兼容 RTS-8 四探針測(cè)試軟件實(shí)現(xiàn)單電測(cè)測(cè)試標(biāo)準(zhǔn)，兩套軟件可同時(shí)使用。

軟件功能

軟件可記錄、保存、打印每一點(diǎn)的測(cè)試數(shù)據(jù)，并統(tǒng)計(jì)分析測(cè)試數(shù)據(jù)大值、小值、平均值、大百分變化、平均百分變化、徑向不均勻度、并將數(shù)據(jù)生成直方圖，也可把測(cè)試數(shù)據(jù)輸出到 Excel 中，對(duì)數(shù)據(jù)進(jìn)行各種數(shù)據(jù)分析。軟件還可自動(dòng)測(cè)量功能，根據(jù)樣品電阻大小自動(dòng)適合電流量程檔測(cè)試。通訊接口 并口，高速并行采集數(shù)據(jù)。

標(biāo)準(zhǔn)使用環(huán)境

溫度：23±2 ℃；

相對(duì)濕度：≤65 ％；

無高頻干擾；

無強(qiáng)光直射；