產(chǎn)品名稱(chēng)： SENS4真空計(jì)VPM-17 TriCAP
產(chǎn)品型號(hào)： VPM-17 TriCAP
產(chǎn)品介紹： VPM-17 TriCAP ATM 傳感器為廣泛的真空應(yīng)用建立了一體化測(cè)量解決方案的新標(biāo)準(zhǔn)。與其他真空計(jì)不同的是，它結(jié)合皮拉尼熱損耗測(cè)量（低至 1E-6 mbar），提供從 5.0E-3 到 1333 mbar 的高性?xún)r(jià)比氣體獨(dú)立測(cè)量。在氣體成分或類(lèi)型可能發(fā)生變化的真空應(yīng)用中，傳統(tǒng)的依賴(lài)氣體的皮拉尼真空計(jì)會(huì)導(dǎo)致測(cè)量結(jié)果與實(shí)際壓力產(chǎn)生偏差。然而，TriCAP ATM 傳感器采用了電容式膜片真空計(jì) (CDG) 傳感器，由于不依賴(lài)于氣體成分，因此即使氣體性質(zhì)發(fā)生變化，也能確保測(cè)量精度。集成的熱損耗 MEMS Pirani 傳感器將測(cè)量范圍擴(kuò)展至 1E-6 mbar，并提供新穎的電容式壓力計(jì)自動(dòng)調(diào)零功能，從而減免了傳統(tǒng)電容式膜片真空計(jì)手動(dòng)調(diào)零的常見(jiàn)需求。TriCAP ATM 是一款新型多傳感器真空計(jì)，是傳統(tǒng)皮拉尼真空計(jì)應(yīng)用的性能升級(jí)之選，也是在單獨(dú)使用電容式壓力計(jì)和皮拉尼真空計(jì)的應(yīng)用中成本優(yōu)化的一體化解決方案。（文件）
SENS4真空計(jì)VPM-17 TriCAP 性能特點(diǎn)：
測(cè)量范圍為 1×10-6 至 1333 mbar（7.5×10-7 至 1000 托）
與氣體無(wú)關(guān)的傳感器，測(cè)量范圍從 5×10-3 到 1333 mbar
超寬量程高性能 MEMS 皮拉尼傳感器
堅(jiān)固耐用的陶瓷電容隔膜真空計(jì)
環(huán)境壓力參考輸出信號(hào)
大氣開(kāi)關(guān)功能
可安裝在任何方向而不影響性能
可編程電壓輸出信號(hào)，可與其他供應(yīng)商仿真
數(shù)字 RS-232 或 RS-485 接口
用于真空過(guò)程控制的三個(gè)固態(tài)設(shè)定點(diǎn)
可直接替換 MKS 901P Loadlock 傳感器
緊湊型多傳感器解決方案
選型指南： （圖）
產(chǎn)品結(jié)構(gòu)與細(xì)節(jié)： （圖）
1 RS-232 發(fā)送 / RS-485 (-)
2 RS-232 接收 / RS-485 (+)
3 電源電壓 12-30 VDC
4 電源電壓 -（返回）
5 模擬電壓信號(hào) +
6 模擬電壓信號(hào) - （返回）
7 繼電器 1 NO（常開(kāi)觸點(diǎn)）
8 繼電器 1 通用
9 繼電器 1 NC（常閉觸點(diǎn)）
10 繼電器 2 NC（常閉觸點(diǎn)）
11 繼電器 2 共用
12 繼電器 2 NO（常開(kāi)觸點(diǎn)）
13 繼電器 3 NC（常閉觸點(diǎn)）
14 繼電器 3 共用
15 繼電器 3 NO（常開(kāi)觸點(diǎn)）
可選功能與配件：
編程設(shè)備
RS-232 轉(zhuǎn) USB，15 針 HD D-sub，電源（90-230VAC）PRG-WPRS2-15DS-01
RS-485 轉(zhuǎn) USB，15 針 HD D-sub，電源（90-230VAC） PRG-WPRS4-15DS-01
RS-232 USB 編程器，1.5 米電纜 PRG-RS232-DS15 RS-232
RS-485 USB 編程器，1.5 米電纜 PRG-RS485-DS15 RS-485
校準(zhǔn)證書(shū)
DAkkS 實(shí)驗(yàn)室認(rèn)可的校準(zhǔn)證書(shū)。cal-vpm17-dakss
電纜
15 針 HD D-sub 母頭至 15 針 D-sub 公頭，帶 3 m 電纜 CAB-F15DSM15DS-003
15 針 HD D-sub 母頭轉(zhuǎn) 15 針 D-sub 公頭，帶 5 米電纜 CAB-F15DSM15DS-005
15 針 HD D-sub 母頭轉(zhuǎn) 15 針 D-sub 公頭，帶 10 m 電纜 CAB-F15DSM15DS-0105
技術(shù)參數(shù)：
產(chǎn)地：丹麥
測(cè)量范圍：1×10-6 至 1333 mbar（7.5×10-7 至 1000 托）
測(cè)量原理 1×10-6 至 1×10-3 mbar：MEMS 皮拉尼熱導(dǎo)率
測(cè)量原理 1×10-3 至 4.99×10-3 mbar：MEMS 皮拉尼/CDG 混合讀數(shù)
測(cè)量原理 5.0×10-3 至 3.99 mbar：電容式隔膜真空計(jì) (CDG)
測(cè)量原理 4 至 6 mbar：混合 MEMS 壓電/CDG
測(cè)量原理 6 至 1333 mbar：MEMS 壓電電阻膜片
精度 1×10-5 至 9.99×10-5 mbar：讀數(shù)的 25 %
精度 1×10-4 至 9.99×10-3 mbar：讀數(shù)的 5 %
精度 1E-2 至 800 mbar：讀數(shù)的 0.5 %
精度 800 至 1099 mbar：讀數(shù)的 0.25 %
精度 1100 至 1200 mbar：讀數(shù)的 0.5 %
氣壓測(cè)量范圍：300 至 1200 mbar
氣壓精度：+/- 0.5 mbar
大氣參考?jí)毫敵龇秶?/span>-1333 至 + 1333 mbar
真空溫度傳感器范圍：-20 至 + 85 ℃
真空溫度傳感器精度：+/- 1.5 ℃
傳感器溫度傳感器范圍：-20 至 + 85 ℃
傳感器溫度傳感器精度：+/- 1.5 ℃
模擬輸出分辨率：16 位 (150 µV)
模擬輸出更新率：124 Hz
響應(yīng)時(shí)間：< 20 ms
溫度補(bǔ)償：+10 至 +50 ℃
固態(tài)繼電器設(shè)定點(diǎn)范圍（Abs值）：5×10-6 至 1333 mbar（3.75×10-6 至 1000 托）
固態(tài)繼電器設(shè)定點(diǎn)范圍（相對(duì)大氣壓）：-1,100 至 + 500 mbar（-770 至 +375 托）
固態(tài)繼電器觸點(diǎn)額定值：50 V、100 mArms / mADC
固態(tài)繼電器觸點(diǎn)耐久性：無(wú)限制（無(wú)機(jī)械磨損）
固態(tài)繼電器認(rèn)證：UL 認(rèn)可： 文件 E76270；CSA 認(rèn)證： 證書(shū) 1175739；EN/IEC 60950-1 認(rèn)證
工作環(huán)境溫度：-20 至 +50 ℃
介質(zhì)溫度：-20 至 +50 ℃
存儲(chǔ)環(huán)境溫度：-20 至 +80 ℃
烘烤溫度（非工作）：+80 ℃
Max介質(zhì)壓力：4 bar壓力Abs
安裝位置：任意
防護(hù)等級(jí)，EN 60529/A2:2013：IP40
濕度，IEC 68-2-38：98 %，無(wú)冷凝
電源電壓：12 至 30 VDC
功耗：350 mW（Max值）
反限性保護(hù)：是
過(guò)壓保護(hù)：是
內(nèi)部保險(xiǎn)絲：100 mA（可熱恢復(fù)）
外殼：SS 1.4307 / AISI 304L / 鋁 6061
真空工藝法蘭（介質(zhì)潤(rùn)濕）：SS 1.4307 / AISI 304L
工藝泄漏密封性：<1-10-9 mbar-l/s
符合認(rèn)證CE：EMC 指令 2014/30/EU
符合 RoHS：歐盟指令 2015/863
產(chǎn)品尺寸： （圖）
產(chǎn)品應(yīng)用：
PVD 涂層、凍干終點(diǎn)檢測(cè)、負(fù)載鎖定控制、熔爐熱處理、皮拉尼校準(zhǔn)、質(zhì)譜儀、掃描電子顯微鏡
智能制造網(wǎng)