當前位置：上海錦流源電子儀器有限公司>> SemionTM離子能量/離子流量分析儀
SemionTM 減速場能量分析儀，用于測量在等離子體腔體中偏壓表面的離子能量和離子流量。SemionTM 系統包括減速場能量分析（RFEA）多柵探測器、腔體整體連接裝置和電子控制單元，可安裝于多種等離子源結構，如電容耦合、電感耦合、磁電管、級聯電弧和遠程源等。該產品的一大特色就是能夠在射頻偏壓表面上放置RFEA探測器（類似于硅片），可隨著電極移動，用以測量該表面的離子流量和離子能量。
特點：1）RFEA探測器可安裝于基片上； 2）原位測量 ：離子能量分布；離子流量；離子電流；電子流量和能量； 3）壓力高達300mT的條件下可測得的能量達500eV； 4）脈沖體系中，時間分辨測量能力可達500kHz，時間間隔為44nS； 5）等離子體懸浮電位測量調節(jié)功能； 6）便攜配置允許一個系統分析多個腔體；
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