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深圳市軸心自控技術(shù)有限公司
免費會員MYS 大氣式等離子表面處理系統(tǒng)
| 參考價: | 面議 |
具體成交價以合同協(xié)議為準(zhǔn)- 產(chǎn)品型號
- 品牌
- 生產(chǎn)商 廠商性質(zhì)
- 所在地
訪問次數(shù)：475更新時間：2022-04-16 18:06:03
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產(chǎn)品簡介
產(chǎn)品介紹
工藝特點
敏感元器件的表面處理也能輕松解決
- 可接觸式氬氣等離子體
- 不產(chǎn)生火花、電弧、粉塵，紫外線和高熱
- 對于敏感電子器件，不產(chǎn)生靜電危害(如晶圓，導(dǎo)線架，半導(dǎo)體封裝零件等)
規(guī)格參數(shù)
基本參數(shù) | MYS等離子表面處理系統(tǒng)平臺 |
用電需求 | 220?V, 2?kW, 10?A, 60?Hz |
用氣需求 | 90 psi (6 bar) |
外形尺寸 (W?x?D?x?H) | 1,200?x?770?x?1,400?mm |
重量 | 650?kg |
認(rèn)證標(biāo)準(zhǔn) | CE |
定位精度 | XY: ±?30?m @ 3?σ?Z: ±?10?m @ 3?σ |
X,Y,Z軸重復(fù)精度 | XY: ±?15?m @ 3?σ?Z: ±?5?m @ 3?σ |
速度 | 1,000?mm/s (X, Y) |
加速度 | 1.0?g |
相機解析度 | 640?x?480?px (30?W) |
驅(qū)動系統(tǒng) | AC servo |
軌道形式 | Belt |
軌道承重 | 3?kg |
適用最小產(chǎn)品寬度 | 50?mm |
適用產(chǎn)品寬度 | 475?mm |
適用最小產(chǎn)品長度 | 50?mm |
適用產(chǎn)品長度 | 350?mm |
軟件操作系統(tǒng) | Windows 7 |
產(chǎn)品厚度范圍 | 0.5–6?mm |
通訊協(xié)議 | SMEMA |
等離子處理范圍 (D?xW) | 475–350?mm |
基本參數(shù) | 等離子系統(tǒng)設(shè)備需求 |
RF功率 | 600W at 27.12 MHz |
主要等離子氣體 | Argon |
制程氣體 | O2, N2, or H2 (other upon testing) |
氣源壓力范圍 | 30–100 psig (0.2–0.7 MPa) |
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