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MFI 在線式-MEMS質(zhì)量式氣體流量計(jì) / 質(zhì)量流量計(jì) / 熱質(zhì)式流量計(jì) / 熱質(zhì)式質(zhì)量流量計(jì)
MFI系列 在線式(in-line)氣體流量計(jì)，插入式安裝，專為大管線(≥150mm)的氣體監(jiān)測(cè)控制而設(shè)計(jì)，

配有自密式閥門，可以在最輕微干擾的情況下解決氣體測(cè)量的有效方案?？蓱?yīng)用于生產(chǎn)過程中的氣體測(cè)控

【測(cè)量類型】
氧氣、氮?dú)?、氦氣、氫氣、氬氣、壓縮氣體、甲烷、液化石油氣、天然氣、二氧化碳...等

【應(yīng)用環(huán)境】
工業(yè)制造業(yè)的用氣測(cè)量及程控、
環(huán)保領(lǐng)域、食品加工、科學(xué)氣體分析儀器、樓宇自控、保健設(shè)備...等

【何謂MEMS(Micro-electromchanical System)？】
MEMS是將微電子技術(shù)與機(jī)械工程融合的一種工業(yè)技術(shù)；而MF系列氣體流量計(jì)采用MEMS芯片及的封裝技術(shù)，
相較于傳統(tǒng)的熱式質(zhì)量流量計(jì)，MEMS質(zhì)量流量計(jì)，體積更輕巧、壓力損失小、低功耗、響應(yīng)速度快、測(cè)量結(jié)果更精確可靠

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