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儀器儀表: Siemens氣體分析儀德國mesa 德國AMS氣體分析儀氣體檢測壓力表

MESA: 滲碳測量控制系統(tǒng) 滲氮測量控制系統(tǒng) 露點測量控制系統(tǒng) 爐內(nèi)氣體分析系統(tǒng)

DOSSENA: 保護控制測量

UNIOP觸摸屏

電機: 伺服電機

變頻器

減速機: 齒輪箱

繼電器

傳感器: 德國metrotec positek傳感器

人機界面

泵閥

電源

加熱器冷卻器

工具: tecna平衡器

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德國MESA微氧測量單元

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德國MESA專為半導(dǎo)體行業(yè)開發(fā)的微氧測量系統(tǒng)。

可選量程：0....5/10/100/1000/10000ppm

精度：±1%FS。



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