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·        自1970年Aerotech開(kāi)始研制zui高性能的運(yùn)動(dòng)控制產(chǎn)品和精密定位系統(tǒng)，這些產(chǎn)品廣泛應(yīng)用于世界范圍內(nèi)的工業(yè)制造、政府及自然科學(xué)研究等行業(yè)。Aerotech能夠?yàn)樯茖W(xué)及醫(yī)學(xué)設(shè)備，半導(dǎo)體加工，光子學(xué)，數(shù)據(jù)存儲(chǔ)，激光應(yīng)用，航空和國(guó)防，電子產(chǎn)品制造、測(cè)試及裝配等行業(yè)的研究和發(fā)展，以及其他需要高精度、高自動(dòng)化水平的解決方案提供滿足市場(chǎng)應(yīng)用苛刻要求的高性能精密運(yùn)動(dòng)控制產(chǎn)品。
Aerotech承諾始終如一的提高我們的產(chǎn)品性能和服務(wù)能力的附加價(jià)值，我們的座右銘是：Dedicated to the Science of Motion。
ABRT超精密轉(zhuǎn)臺(tái)
1專為硅片檢測(cè)，X射線衍射系統(tǒng)，光學(xué)檢測(cè)及制造和納米技術(shù)設(shè)備制造應(yīng)用設(shè)計(jì)
2無(wú)刷無(wú)槽伺服電機(jī)直接驅(qū)動(dòng)
3突出的速度穩(wěn)定性，波動(dòng)率低于萬(wàn)分之一（電機(jī)無(wú)接頭效應(yīng)）
4的運(yùn)動(dòng)性能,誤差小,無(wú)抖動(dòng)
5直聯(lián)高精度旋轉(zhuǎn)編碼器
6扁平結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì)
7無(wú)機(jī)械接觸
臺(tái)面直徑100-200mm
分辨率0.027-0.055arcsec
雙向重復(fù)定位精度<1arcsec
定位精度 <2 arc sec
異步軸跳 <20nm
異步徑跳 <20nm
ARMS超精密模擬仿真轉(zhuǎn)臺(tái)
1. 為超高精度運(yùn)動(dòng)而設(shè)計(jì)。
2. 無(wú)刷力矩電機(jī)直接驅(qū)動(dòng)，可選更高速度和力矩電機(jī)。
3. 突出的速度穩(wěn)定性。
4. 的運(yùn)動(dòng)性能，誤差小，無(wú)抖動(dòng)
5. 有效載荷達(dá)230 kg
6. 預(yù)裝有集流環(huán)
臺(tái)面直徑：146~260mm
反饋分辨率：0.02~4 arc sec
雙向重復(fù)定位精度 0.5 arc sec
定位精度         2.5 arc sec
速度波動(dòng)率       0.0001%
ABRS超精密轉(zhuǎn)臺(tái)
ABRS氣浮軸承精密運(yùn)動(dòng)轉(zhuǎn)臺(tái)擁有一個(gè)低矮的外形輪廓，并且能夠提供出眾的角度定位精度，的速度穩(wěn)定性以及極小的運(yùn)動(dòng)誤差。ABRS精密轉(zhuǎn)臺(tái)的設(shè)計(jì)應(yīng)用于硅片檢測(cè)，高精度測(cè)量，激光衍射系統(tǒng)，光學(xué)檢測(cè)和制造以及納米制造技術(shù)。
特點(diǎn):
1. 無(wú)刷無(wú)槽力矩電機(jī)直接驅(qū)動(dòng)
2. 的速度穩(wěn)定性（無(wú)齒槽效應(yīng)）
3. 的運(yùn)動(dòng)性能，誤差小，無(wú)抖動(dòng)
4. 直連式高精度圓光柵反饋
5. 扁平結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì)
6. 氣浮軸承，無(wú)機(jī)械接觸
臺(tái)面直徑：128~278mm
反饋分辨率：0.036~0.18 arc sec
雙向重復(fù)定位精度：<1arc sec
定位精度： 2 arc sec
異步軸跳： 20nm
異步徑跳： 20nm
ADR系列精密轉(zhuǎn)臺(tái)
ADR系列直接驅(qū)動(dòng)轉(zhuǎn)臺(tái)提供精確的角度定位和速度控制。應(yīng)用范圍包括高速激光加工和硅片精密檢測(cè)。
特點(diǎn)：
1. 無(wú)刷力矩電機(jī)直接驅(qū)動(dòng)
2. 無(wú)齒槽設(shè)計(jì)提供的速度穩(wěn)定性
3. 的運(yùn)動(dòng)性能，誤差小，無(wú)抖動(dòng)
4. 直連式高精度圓光柵反饋
5. 高精度機(jī)械軸承支撐
6. zui大載荷可達(dá)150kg
臺(tái)面直徑：57~240mm
反饋分辨率：0.036~13 arc sec
雙向重復(fù)定位精度： 1arc sec
定位精度： 2 arc sec
軸跳： 0.5um
徑跳： 1um
AOM360D光電跟蹤轉(zhuǎn)臺(tái)
AOM360D*定位裝置能夠提供zui精確的方位角和仰角值。*級(jí)品質(zhì)的電機(jī)，軸承和傳感器組合而成的機(jī)架裝置保證了整體的*性能。AOM360D被應(yīng)用于使用傳感器和光學(xué)設(shè)備對(duì)方位角和仰角值進(jìn)行自動(dòng)檢測(cè)。其他應(yīng)用包括方位校準(zhǔn)，激光束指引，目標(biāo)捕獲及跟蹤，照相機(jī)和光電望遠(yuǎn)鏡的掃描和定位。
特點(diǎn)：
1. 所有軸均可360度旋轉(zhuǎn)
2. 超精確的定位精度和雙向重復(fù)定位精度
3. 超低的軸向擺動(dòng)及正交性
4. 無(wú)刷無(wú)槽力矩電機(jī)直接驅(qū)動(dòng)
5. 高精度圓光柵反饋
6. 無(wú)齒槽設(shè)計(jì)提供的速度穩(wěn)定性
7. 熱穩(wěn)定性好于0.4 arc sec/攝氏度
8. 負(fù)載直徑可達(dá)500mm，負(fù)載質(zhì)量可達(dá)50kg
9. 可以用于真空環(huán)境
負(fù)載直徑193-485mm
負(fù)載質(zhì)量  20~50kg
分辨率0.055arcsec
雙向重復(fù)定位精度1arcsec
定位精度 2 arc sec
方位角擺動(dòng)  3 arc sec
仰角擺動(dòng)    5 arc sec

Aerotech直驅(qū)機(jī)械軸承旋轉(zhuǎn)平臺(tái)

Aerotech ADRT直驅(qū)旋轉(zhuǎn)平臺(tái)

1.高扭矩輸出，直驅(qū)無(wú)刷伺服電機(jī)
2.無(wú)接頭設(shè)計(jì)，速度穩(wěn)定性突出
3.突出的抖動(dòng)和跳動(dòng)性能
4.直聯(lián)高精度旋轉(zhuǎn)編碼器
5.寬大的通孔直徑
直徑 146 - 260 mm
精度 ±30 arc sec
負(fù)載 30 - 173 kg

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Aerotech ADRS直驅(qū)旋轉(zhuǎn)平臺(tái)

1.高扭矩輸出，直驅(qū)無(wú)刷伺服電機(jī)
2.無(wú)接頭無(wú)槽電機(jī)設(shè)計(jì)，速度穩(wěn)定性突出
3.直聯(lián)高精度旋轉(zhuǎn)編碼器
4.超低的外形將工作高度減到zui小
直徑 95 - 190 mm
精度 6 arc sec
負(fù)載 16.9 - 56.2 lb

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Aerotech ARMS直驅(qū)旋轉(zhuǎn)平臺(tái)

1.設(shè)計(jì)來(lái)生成高精確運(yùn)動(dòng)
2.在全部360°范圍都能達(dá)到0.0001%速度穩(wěn)定性
3.定位分辨率0.02角秒
4.有效負(fù)載230 kg
5.完整的導(dǎo)電環(huán)和不固定的旋轉(zhuǎn)管套節(jié)
6.可選直驅(qū)無(wú)刷電機(jī)以實(shí)現(xiàn)高轉(zhuǎn)速和高扭矩輸出
孔徑 8 mm - 25 mm
分辨率 0.02 - 2 arc sec
精度 ±2.5 arc sec

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AAerotech  LAR直驅(qū)旋轉(zhuǎn)平臺(tái)

1.5種不同的孔徑尺寸：100 mm, 150 mm, 200 mm, 250 mm, 325 mm
2.持續(xù)或有限的行程
3.300-1000 lb的高軸向負(fù)載能力
4.寬大的軸承能提供較高的有效負(fù)載和瞬間負(fù)載能力
5.的精度和重復(fù)定位精度
6.抖動(dòng)和跳動(dòng)小
7.無(wú)接頭電機(jī)提供平滑運(yùn)動(dòng)
8.無(wú)回差效應(yīng)
9.精度不隨齒輪的磨損而改變
10.每分鐘45-300轉(zhuǎn)的持續(xù)轉(zhuǎn)速
11.有效負(fù)載必須在旋轉(zhuǎn)中心的應(yīng)用的*選擇， AZ滾動(dòng)萬(wàn)向架應(yīng)用的重要選擇
12.10-6 torr真空環(huán)境選項(xiàng)可選
zui大孔徑 325 mm
精度 ±3.9 arc sec
負(fù)載 6463 N

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Aerotech  ADR175/240直驅(qū)旋轉(zhuǎn)平臺(tái)

1.直驅(qū)無(wú)刷伺服電機(jī)
2.無(wú)接頭設(shè)計(jì)，速度穩(wěn)定性突出
3.突出的抖動(dòng)和跳動(dòng)性能
4.直聯(lián)高精度旋轉(zhuǎn)編碼器
5.高精度角接觸軸承
直徑 175 mm
精度 ±5 arc sec
負(fù)載 25 kg
直徑 240 mm
精度 ±1 arc sec
負(fù)載 135 kg

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Aerotech  ADR160直驅(qū)旋轉(zhuǎn)平臺(tái)

1.直驅(qū)無(wú)刷伺服電機(jī)
2.無(wú)接頭設(shè)計(jì)，速度穩(wěn)定性突出
3.突出的抖動(dòng)和跳動(dòng)性能
4.直聯(lián)高精度旋轉(zhuǎn)編碼器
5.高精度角接觸軸承
直徑 160 mm
精度 ±5 arc sec
負(fù)載 25 kg

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Aerotech ARA1000旋轉(zhuǎn)執(zhí)行器

1.高負(fù)荷傳送能力
2.高剛性
3.直驅(qū)無(wú)刷無(wú)槽伺服電機(jī)
4.寬大的孔徑
5.配置AVL1000很容易實(shí)現(xiàn)多軸的應(yīng)用
直徑 342.9 mm
精度 ±2 arc sec
負(fù)載 45 kg

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ADR75直驅(qū)旋轉(zhuǎn)平臺(tái)

1.直驅(qū)無(wú)刷伺服電機(jī)
2.無(wú)接頭設(shè)計(jì)，速度穩(wěn)定性突出
3.突出的抖動(dòng)和跳動(dòng)性能
4.直聯(lián)高精度旋轉(zhuǎn)編碼器
5.高精度角接觸軸承
直徑 75 mm
精度 ±5 arc sec
負(fù)載 3 kg

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Aerotech  ASR1000直驅(qū)旋轉(zhuǎn)平臺(tái)

1.精度高,動(dòng)態(tài)性能好
2.方便產(chǎn)品進(jìn)給和通過(guò)的大孔徑
3.低慣量軸可以實(shí)現(xiàn)zui大的加速度
4.*化包裝設(shè)計(jì)使平臺(tái)重量zui小
5.直驅(qū)無(wú)刷伺服電機(jī)
6.直聯(lián)旋轉(zhuǎn)編碼器
7.高精度角接觸軸承
直徑 19 mm
精度 ±15 arc sec
負(fù)載 3.0 kg

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Aerotech  ASR1100直驅(qū)旋轉(zhuǎn)平臺(tái)

1.完整的氣動(dòng)套爪卡盤
2.ER16夾頭接受0.5 mm to 10 mm外經(jīng)的管
3.通孔適合產(chǎn)品進(jìn)給和通過(guò)
4.有刻線的夾頭保持器能快速更換*
5.常閉夾頭配置
6.低慣量軸可以實(shí)現(xiàn)zui大的加速度
7.直驅(qū)無(wú)刷電機(jī)和編碼器
8.免維護(hù),無(wú)摩擦旋轉(zhuǎn)連接
zui大孔徑 14 mm
精度 ±15 arc sec
負(fù)載 3 kg

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Aerotech  ASR1200直驅(qū)旋轉(zhuǎn)平臺(tái)

1.ER16夾頭可夾外經(jīng)到到5.8 mm的管
2.集成的可更換O形圈的水套適合濕加工應(yīng)用
3.通孔方便產(chǎn)品進(jìn)給和通過(guò)
4.有刻線的夾頭保持器能快速更換*
5.低慣量軸可以實(shí)現(xiàn)zui大的加速度
6.直驅(qū)無(wú)刷電機(jī)和編碼器
7.免維護(hù),無(wú)摩擦旋轉(zhuǎn)連接
zui大孔徑 5.8 mm
精度 ±15 arc sec
負(fù)載 3 kg

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Aerotech  ACS旋轉(zhuǎn)平臺(tái)

1.集成氣動(dòng)ER夾頭和卡盤或3瓜卡盤.
2.通孔方便產(chǎn)品進(jìn)給和通過(guò)
3.常閉或常開(kāi)夾子選項(xiàng)
4.低慣量軸可以實(shí)現(xiàn)zui大的加速度
5.直驅(qū)無(wú)刷電機(jī)和編碼器
6.完整的旋轉(zhuǎn)連接
zui大孔徑 30 mm
精度 ±15 arc sec
負(fù)載 140 kg

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Aerotech  ACS LP系列旋轉(zhuǎn)平臺(tái)

1.完整的氣動(dòng)ER套爪卡盤
2.通孔方便產(chǎn)品進(jìn)給和通過(guò)
3.低慣量軸可以實(shí)現(xiàn)zui大的加速度
4.完整的旋轉(zhuǎn)連接
5.超低的外形將工作高度減到zui小
zui大孔徑 30 mm
精度 ±6 arc sec
負(fù)載 41 kg

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ADRH直驅(qū)旋轉(zhuǎn)平臺(tái)

1.低外形適合對(duì)空間敏感的應(yīng)用場(chǎng)合
2.直驅(qū)無(wú)刷無(wú)槽伺服電機(jī)
3.直聯(lián)高精度旋轉(zhuǎn)編碼器
直徑 104.8 mm
分辨率 3.6 arc sec
zui大轉(zhuǎn)速 2500 rpm

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Aerotech   ANT-20RA 旋轉(zhuǎn)執(zhí)行器

1.0.045角秒的分辨率
2.緊湊的結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì)
3.巨大的轉(zhuǎn)角范圍
4.非接觸直接驅(qū)動(dòng)
5.高轉(zhuǎn)速和高分辨率
6.的定位穩(wěn)定性
7.免維護(hù)
8.20度的行程轉(zhuǎn)角
精度 ±10 arc sec
負(fù)載 2.5 kg

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WaferMax T 旋轉(zhuǎn)平臺(tái)

1.低外形適合對(duì)空間敏感的應(yīng)用場(chǎng)合
2.直驅(qū)無(wú)刷無(wú)槽伺服電機(jī)
3.直聯(lián)高精度旋轉(zhuǎn)編碼器
4.25毫米孔徑

Aerotech 2軸氣浮平臺(tái)

Aerotech  ABL1000氣浮平臺(tái)

1 專為高性能校準(zhǔn)和裝配應(yīng)用設(shè)計(jì)
2 分辨率達(dá)2nm的直線編碼器反饋
3 閉環(huán)分辨率可達(dá)1nm(使用A3200控制器)
4 全預(yù)加負(fù)載氣浮導(dǎo)軌(空氣軸承)
5 低噪音線性放大器
6 全部非接觸設(shè)計(jì)
行程 ≤150 mm
精度 ±0.20 um
重復(fù)定位精度 ±0.05 um
直線度 ±0.25 um
平面度 ±0.25 um

Aerotech  ABL3600氣浮平臺(tái)

1 專為掃描顯微鏡/掩模/晶片檢測(cè)*應(yīng)用設(shè)計(jì)
2 雙軸,大孔,開(kāi)放式結(jié)構(gòu)
3 非接觸直線編碼器反饋,精度高
4 雙直線電機(jī)驅(qū)動(dòng)X Y 軸
5 所有軸全預(yù)加負(fù)載氣浮導(dǎo)軌(空氣軸承)
行程 ≤250 mm
精度 ±1 um
重復(fù)定位精度 ±0.20 um
直線度 ±0.50 um
平面度 ±1 um

Aerotech ABL8000氣浮平臺(tái)

1 專為有效負(fù)載大,負(fù)載重心偏離機(jī)架中心線的應(yīng)用設(shè)計(jì)
2 十字交叉結(jié)構(gòu),剛性穩(wěn)定性引人注目,幾何特性*
3 所有軸全預(yù)加負(fù)載氣浮導(dǎo)軌(空氣軸承)
4 行程達(dá)1米
5 直線編碼器或激光干涉儀反饋
6 可集成包括花崗巖的XY子系統(tǒng)
行程 ≤1000 mm
精度 ±0.50 um
重復(fù)定位精度 ±0.20 um
直線度 ±0.40 um
平面度 ±0.40 um

Aerotech  ABL9000氣浮平臺(tái)

1 世上zui高性能的氣浮平臺(tái),適用于晶片,平板顯示,光學(xué)檢測(cè)和加工等要求苛刻的場(chǎng)合
2 所有軸全預(yù)加負(fù)載氣浮導(dǎo)軌(空氣軸承)
3 行程達(dá)1.2米X1.2米
4 Y軸雙直線電機(jī)驅(qū)動(dòng)
5 直線編碼器或激光干涉儀反饋
6 主動(dòng)控制偏轉(zhuǎn)
行程 ≤1200 mm
精度 ±0.50 um
重復(fù)定位精度 ±0.10 um
直線度 ±0.50 um
平面度 ±0.50 um

Aerotech  AHL9000直線電機(jī)平臺(tái)

1 專為晶片檢測(cè)，平板顯示加工和光學(xué)檢測(cè)及制造應(yīng)用設(shè)計(jì)
2 掃描軸是空氣軸承，步進(jìn)軸是機(jī)械軸承
3 行程達(dá)1.2米X1.2米
4 雙直線電機(jī)驅(qū)動(dòng)步進(jìn)軸
5 直線編碼器或激光干涉儀反饋
行程 ≤350 mm
精度 ±1.0 um
重復(fù)定位精度 ±0.20 um
直線度 ±0.60 um
平面度 ±0.60 um

Aerotech  ABG10000氣浮平臺(tái)

1 氣浮導(dǎo)軌實(shí)現(xiàn)超平滑運(yùn)動(dòng)
2 所有軸都預(yù)加載荷
3 下面軸采用雙無(wú)刷直線伺服電機(jī)驅(qū)動(dòng)
3 行程達(dá)1 m x 1 m
4 非接觸直線編碼器(光柵)
5 可選Z 軸,隔振,機(jī)械底座和控制箱
6 適用于高速拾取/放置,自動(dòng)化裝配,視覺(jué)檢測(cè),點(diǎn)膠機(jī),高精度檢測(cè)．
Travel 行程 ≤1000 mm
Accuracy 精度 ±2.0 um
Load 負(fù)載 84 kg

Aerotech  FiberCouple 130平臺(tái)

1 同一條導(dǎo)軌上兩個(gè)運(yùn)動(dòng)平臺(tái)
2 獨(dú)立或并列運(yùn)動(dòng)
3 2.5nm分辨率
4 非接觸直線電機(jī)驅(qū)動(dòng)
5 交鑰匙的配套驅(qū)動(dòng)和控制系統(tǒng)
6 適合輔助軸

Aerotech VascuLathe ACS/ASR

1.直線平臺(tái)與旋轉(zhuǎn)平臺(tái)的高度集成化
2.ER筒夾系統(tǒng)使材料箝位自動(dòng)化
3.可選夾緊裝置夾緊管
4 *的控制系統(tǒng)結(jié)構(gòu)
5.單或雙主軸結(jié)構(gòu)
6.可選擇濕切割
7.擁有兩項(xiàng)Patent No. 7,038,334 Patent No. 7,105,956

Aerotech LaserTurn

1.直線平臺(tái)與旋轉(zhuǎn)平臺(tái)的高度集成化
2.氣動(dòng)3爪卡盤或ER筒夾
3.較大的通孔可以使產(chǎn)品通過(guò)
4.可選擇在前后加工的平臺(tái)
5.直接驅(qū)動(dòng)直線和旋轉(zhuǎn)電機(jī)技術(shù)

Aerotech PlanarHD氣浮平臺(tái)

1 zui大2 m/s掃描速度和5g加速度的輸出
2 zui快的轉(zhuǎn)向和zui小的穩(wěn)定時(shí)間
3 主動(dòng)偏轉(zhuǎn)控制
4 直線光柵或激光干涉儀反饋
5 行程1.2 m x 1.2 m

行程 ≤12 00 mm
精度 ±300 nm
重復(fù)定位精度 ±50 nm
分辨率 0.25 nm

Aerotech APT 系列平轉(zhuǎn)和傾斜組合轉(zhuǎn)臺(tái)

1 滿足安全，國(guó)防建設(shè)和監(jiān)測(cè)市場(chǎng)的需要
2 把*的高精密機(jī)械與業(yè)界的控制技術(shù)結(jié)合在一起
3 慣性穩(wěn)定
4 包含內(nèi)置滑環(huán)，可連續(xù)旋轉(zhuǎn)360 °
5 高定位精度和速度性能
6 易于安裝和系統(tǒng)集成的集成電路
7 低維護(hù)，高可靠性提供zui低的擁有成本
平轉(zhuǎn)： zui高速度180 ° /秒，持續(xù)360 °
傾斜： zui高速度180 ° /秒，范圍為± 95 °
位置分辨率：7.6弧秒
定位精度： 120弧秒
有效載荷： 35公斤

Aerotech AOM360D

1兩軸均360°連續(xù)旋轉(zhuǎn)

2軸定位精度和重復(fù)性高

3軸抖動(dòng)小,正交性好

4直驅(qū)無(wú)刷伺服電機(jī)

5高精度感應(yīng)反饋

6無(wú)嵌齒效應(yīng)設(shè)計(jì),突出的速度穩(wěn)定性

7負(fù)載直徑達(dá)500毫米

8真空兼容機(jī)型可選

分辨率.27&micro;rad

孔徑范圍203.2mm-508.0mm

負(fù)載7.0kg-50.0kg