質(zhì)量流量控制儀器庫號：M404976質(zhì)量流量控制儀器庫號：M404976

D07-7是熱式質(zhì)量流量計，質(zhì)量流量控制器可以應(yīng)用到對各種氣體進(jìn)行測量和控制，除測量外還可以控制氣體的質(zhì)量流量，質(zhì)量流量計（MFM）可以測量氣體的質(zhì)量流量 。D07-7產(chǎn)品是基礎(chǔ)款產(chǎn)品，能滿足大多數(shù)客戶流量測控基本需求。

流量量程 0~5sccm,10sccm,20sccm,30sccm,50sccm,100sccm,200sccm,300sccm,500sccm,1slm,2slm,3slm,5slm,10slm

產(chǎn)品 ±1.5％F.S.

重復(fù) ±0.2% FS

線性 ±1％F.S.

響應(yīng)時間 ≤10sec 氣特性≤4sec

工作溫度范圍 (5~45)°C

耐壓 3MPa

輸入輸出信號 (0~+5)VDC

電源 ±15V

閥類型 常閉

溫度系數(shù)

零點飄移指標(biāo) - 無 -

電氣連接 D sub 15 pins Female

工作壓差范圍 (0.1～0.5) MPa

漏率 1×10-8atm•cc / sec He（1×10-9 Pa•m3 / sec He）

標(biāo)準(zhǔn)接頭形式 雙卡套Φ8,雙卡套Φ6,雙卡套Φ3,雙卡套1/8",φ4(內(nèi))×1軟管接頭,VCR1/4",雙卡套1/4",φ6(內(nèi))×1軟管接頭

表面化學(xué)成分 - 無 -

表面粗糙度 - 無 -

抗電磁干擾 CE

重量 1.1kg