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上海旭為光電科技有限公司
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更新時間:2024-06-26 08:21:15瀏覽次數(shù):96次
聯(lián)系我時,請告知來自 智能制造網(wǎng)XUUS上變頻超快激光脈沖 光譜的紫外線(EUV或XUV)或軟X射線區(qū)域。采用HHG工藝,輸出光束繼承了驅(qū)動激光器(如KMLabs RAEA)的相干特性 ,其波長可在~10至50 nm范圍內(nèi)調(diào)諧。此外,定制系統(tǒng)可以產(chǎn)生波長短至6nm的相干光束。XUUS 5采用KMLabs獲得的空心波導(dǎo),用于高諧波上變頻過程。
Wavelength | Flux* | Repetition Rate | Pointing Stability | Power Stability |
---|---|---|---|---|
30 nm | >5x1012 ph/sec per harmonic | 1 - 20 kHz | <5 µrad="">5> | <5%>5%> |
13 nm | >1010 ph/sec per harmonic | 1 - 10 kHz | <5 µrad="">5> | <5%>5%> |
6 nm | >106 ph/sec per 10% BW | 1 kHz | <10 µrad="">10> | <10%>10%> |
來自堅固耐用的工程 EUV 系統(tǒng)的
好消息:您不再需要將實驗室資源用于構(gòu)建高諧波發(fā)生 (HHG) 系統(tǒng)。第五代KMLabs的XUUS™極紫外超快源是一個交鑰匙系統(tǒng),可讓您直接進(jìn)入實驗。XUUS 5是一種基于高諧波產(chǎn)生的相干EUV/軟X射線光源。它是一個工程化和集成的商業(yè)來源,基于一個強大的光機械平臺。
HHG如何運作?通過單擊此處了解HHG的物理原理。
XUUS 5將超快激光脈沖上變頻到光譜的紫外(EUV 或 XUV)或軟 X 射線區(qū)域。采用HHG工藝,輸出光束繼承了驅(qū)動激光器(如KMLabs RAEA)的相干特性,其波長可在~10至50 nm范圍內(nèi)調(diào)諧。此外,定制系統(tǒng)可以產(chǎn)生波長短至6nm的相干光束。XUUS 5采用KMLabs獲得的空心波導(dǎo),用于高諧波上變頻過程。
XUUS空心光纖或波導(dǎo)架構(gòu)使系統(tǒng)產(chǎn)生的諧波與其他HHG方法區(qū)分開來,保證您的諧波每次都來自空間中的同一點,從而限度地減少任何指向漂移。此架構(gòu)可優(yōu)化實驗的可重復(fù)性。此外,使用光纖(而不是典型的氣體射流或半無限氣室目標(biāo)幾何形狀)為相位匹配的HHG提供了出色的壓力可調(diào)性?,F(xiàn)在,您可以在不犧牲靈活性的情況下選擇穩(wěn)健性。
XUUS極紫外超快光源是基于高次諧波的相干EUV/軟X射線源,這是一套工程化和商業(yè)化的集成系統(tǒng)。這套系統(tǒng)使用了KMLabs的的空心波導(dǎo)技術(shù)來產(chǎn)生高次諧波,輸出光束是相干和類激光的。關(guān)于高次諧波(HHG)的產(chǎn)生,更多信息,請點擊“高次諧波產(chǎn)生"。KMLabs使用的空心波導(dǎo)技術(shù),在波導(dǎo)中可以實現(xiàn)高次諧波的轉(zhuǎn)換,使用最少的氣體,獲得的穩(wěn)定性。對于的應(yīng)用,EUV通量可能超過> 5×10 12 ph / sec
KMLabs 的 XUUS 源可實現(xiàn)個亞波長 EUV 13.5 nm 成像
寬視場反射模式點陣成像顯微鏡,帶臺式 12.7 nm 高諧波照明
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