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賽福儀器承德有限公司
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| 參 考 價(jià) | 面議 |
產(chǎn)品型號(hào)
品 牌
廠商性質(zhì)其他
所 在 地承德市
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更新時(shí)間：2024-04-16 14:39:16瀏覽次數(shù)：146次
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CIF 掃描電鏡（SEM）等離子清洗機(jī)采用遠(yuǎn)程、原位雙等離子清洗源設(shè)計(jì)，并可自動(dòng)切換，一機(jī)多用。遠(yuǎn)程等離子體清洗快速高效低轟擊損傷，同時(shí)可實(shí)現(xiàn)常規(guī)等離子清洗。主要用于SEM或FIB等電鏡腔體內(nèi)碳?xì)浠衔锏那逑础?/p>
產(chǎn)品特點(diǎn)
v 雙等離子清洗源
v 一機(jī)多用
v 高效低損傷
技術(shù)參數(shù)
產(chǎn)品型號(hào) | CIF-SEM |
法蘭接口 | KF40（CF40） |
工作氣壓 | 0.3-3Pa |
等離子電源 | 13.56MHz射頻電源，射頻功率5-150W可調(diào)， |
遠(yuǎn)程等離子源，自動(dòng)匹配器 | |
氣體控制 | 標(biāo)配單路質(zhì)量流量計(jì)（MFC）可選雙路。50毫升/分，自動(dòng)控制氣體流量，不會(huì)受環(huán)境溫度和壓力變化影響 |
氣源選擇 | 根據(jù)需求氧氣、氬氣、氮?dú)?、氫氣等多種清洗氣源選擇 |
真空控制 | 美國MKS公司925-12010皮拉尼真空計(jì)，測量范圍1E-5Torr |
真空保證 | 真空計(jì)和電磁閥安全互鎖 |
操控方式 | 7寸全彩觸摸屏控制，中英文互動(dòng)操作界面 |
電源/功率 | 220V，50/60Hz，300W |
可選配件 | 可選氧氣、氮?dú)?、氫氣發(fā)生器， 氫氣純度﹥99.999％，輸出流量0-300ml/min |
質(zhì)量保證 | 二年質(zhì)保，終身維護(hù) |
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