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          行業(yè)產(chǎn)品

          • 行業(yè)產(chǎn)品

          賽福儀器承德有限公司


          Spin Processor

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          產(chǎn)品型號

          品       牌

          廠商性質(zhì)其他

          所  在  地承德市

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          更新時間:2024-04-16 14:12:53瀏覽次數(shù):131次

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          產(chǎn)品簡介

          CIF勻膠機轉(zhuǎn)速穩(wěn)定、啟動迅速,旋涂均勻,操作簡單,結(jié)構(gòu)緊湊實用,為實驗室提供了理想的解決方案。廣泛應用于微電子、半導體、新能源、化工材料、生物材料、光學,硅片、載玻片,晶片,基片,ITO 導電玻璃等工藝制版表面涂覆等。

          詳細介紹


          產(chǎn)品特點

          采用閉環(huán)控制伺服電機,數(shù)字式增速信號反饋,速勻準確,壽命長,保證勻膠的均一性。

          5寸全彩觸摸屏,智能程序化可編程操控顯示,標配10個勻膠梯度階段(速度和時間梯度設置),可選配10個可編程程序,每個程序下可設置10個勻膠梯度階段,z100個階段。

          內(nèi)置水平校準裝置,保證旋涂均勻,可對大小不同規(guī)格的基片進行旋涂。

          多重安全保護:

          電磁安全開關(guān),蓋子打開卡盤停止,保證安全;

          蓋子自鎖功能,防止飛片蓋開傷人;

          雙重安全上蓋,聚四氟嵌鑲鋼化玻璃,避免單一玻璃或者亞克力上蓋飛片傷人,保證實驗人員安全。

          樣品托盤卡口和樣品托盤之間三重密封安全保護,有效降低電機進膠的風險。

          一機兩用,根據(jù)不同樣品可選真空吸盤和非真空卡盤兩種旋涂方式。

          符合人體功能學的水平取放樣品旋涂托盤設計,取放樣品方便。

          不銹鋼噴塑涂層旋涂殼體,旋涂腔體采用PTFE材料。旋涂托盤采用聚丙烯(NPP-H)材料,耐酸堿防腐蝕,保證儀器在苛刻條件下仍能正常運行。

          上下雙腔體設計,較大的上腔體便于擦拭去除膠液,錐形下腔體結(jié)構(gòu)設計便于收集膠液,并帶廢膠收集裝置

          可選氮氣吹干、氮氣保護,自動滴膠或簡易滴膠裝置,提供多的操作便利性。

          適用硅片、玻璃、石英、金屬、GaAs,GaN,InP 等多種材料。

           

          技術(shù)參數(shù)

          型號

          轉(zhuǎn)速(轉(zhuǎn)/分)

          轉(zhuǎn)速穩(wěn)定度

          勻膠時間

          旋涂基片尺寸mm

          外型尺寸(LxWxH)mm

          SC1

          50-10000

          ±1%

          0-2000秒

          圓片Φ5-Φ100,方片z大100x100

          310x260x250



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