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硅基叉指電極結(jié)構(gòu)高低溫探針臺(tái)

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叉指電極傳感器主要包括四個(gè)結(jié)構(gòu)參數(shù)，分別為:叉指電極對(duì)的對(duì)數(shù)、叉指寬度、相鄰叉指之間的間隙距離以及叉指電極的厚度。這四個(gè)參數(shù)對(duì)基于叉指電極的生化傳感器關(guān)鍵性能指標(biāo)都有很大影響。硅基叉指電極結(jié)構(gòu)高低溫探針臺(tái)KT-Z4019MRL4T是用于叉指電極的一款性價(jià)比很高的探針臺(tái)，可進(jìn)行高溫和低溫，采用純銀熱臺(tái)，有導(dǎo)熱更好，不易氧化等特點(diǎn)。

詳細(xì)介紹

硅基叉指電極結(jié)構(gòu)高低溫探針臺(tái)KT-Z4019MRL4T

叉指電極傳感器主要包括四個(gè)結(jié)構(gòu)參數(shù)，分別為:叉指電極對(duì)的對(duì)數(shù)、叉指寬度、相鄰叉指之間的間隙距離以及叉指電極的厚度。這四個(gè)參數(shù)對(duì)基于叉指電極的生化傳感器關(guān)鍵性能指標(biāo)都有很大影響。通過分析叉指電極阻值的計(jì)算公式可發(fā)現(xiàn)，叉指的長(zhǎng)寬比越大，叉指的密度越大，叉指電極的初始電阻越小，從而傳感器的靈敏度和響應(yīng)速度就會(huì)越高。當(dāng)叉指電極結(jié)構(gòu)尺寸減小到微米量級(jí)以下，叉指電極結(jié)構(gòu)間的微弱的電阻變化可以被靈敏地檢測(cè)到，叉指電極傳感器的靈敏度得以顯著提高。叉指電極結(jié)構(gòu)周圍的電場(chǎng)分布可以通過理論分析以及數(shù)值模擬計(jì)算得到，計(jì)算結(jié)果表明叉指電極傳感器的電場(chǎng)強(qiáng)度與電極厚度成近似反比關(guān)系，電極越厚，電場(chǎng)強(qiáng)度越小。因此，通過優(yōu)化叉指電極傳感器的相關(guān)結(jié)構(gòu)參數(shù)可以提高生物化學(xué)傳感器的性能，當(dāng)應(yīng)用于不同的傳感檢測(cè)領(lǐng)域時(shí)，可能需要使用不同結(jié)構(gòu)參數(shù)的叉指電極結(jié)構(gòu)。

硅基叉指電極結(jié)構(gòu)高低溫探針臺(tái)KT-Z4019MRL4T 參數(shù)

真空腔體
類型	高溫型室溫到350℃	高低溫型室溫到350℃ 室溫到-196℃
腔體材質(zhì)	304不銹鋼 6061鋁合金可選
腔體內(nèi)尺寸	127mmX57mmX20mm
腔體外尺寸	150mmX80mmX32mm
腔體重量	不銹鋼材質(zhì) 約1.5KG 鋁合金材質(zhì) 約0.5KG
腔體上視窗尺寸	Φ42mm（可選配凹視窗用于減少窗口和樣品之間距離）
腔體抽氣口	KF16法蘭（其余接口規(guī)格可轉(zhuǎn)接）
腔體真空測(cè)量口	KF16法蘭（其余接口規(guī)格可轉(zhuǎn)接）
腔體進(jìn)氣口	6mm快擰或 6mm快插
腔體冷卻方式	腔體水冷+上蓋氣冷
腔體水冷接口
腔體正壓	≤0.05MPa
腔體真空度	機(jī)械泵≤5Pa （5分鐘）分子泵≤5E-3Pa（30分鐘）
樣品臺(tái)
樣品臺(tái)材質(zhì)	不銹鋼銀銅合金純銀塊	銀銅合金純銀塊
樣品臺(tái)尺寸	26x26mm
樣品臺(tái)加熱方式	電阻加熱	電阻加熱液氮制冷
樣品臺(tái)-視窗距離	11mm（可選配凹視窗用于減少窗口和樣品之間距離到6mm）
樣品臺(tái)測(cè)溫傳感器	PT100型熱電阻
樣品臺(tái)溫度	室溫到400℃	室溫到400℃ 室溫到-196℃
樣品臺(tái)測(cè)溫誤差	±0.5℃
樣品臺(tái)升溫速率	高溫100℃/min 值低溫7℃/min
溫控儀
溫度顯示	7寸人機(jī)界面
溫控類型	標(biāo)準(zhǔn)PID溫控 +自整定
溫度分辨率	0.1℃
溫控精度	±0.5℃
溫度信號(hào)輸入類型	PT100 （可選K S B型熱電偶）
溫控輸出	直流線性電源加熱	直流線性電源加熱+液氮流速控制器
輔助功能	溫度數(shù)據(jù)采集并導(dǎo)出實(shí)時(shí)溫度曲線+歷史溫度曲線可擴(kuò)展真空讀數(shù)接口
溫控器尺寸	32cmX170cmX380cm
溫控器重量	約5.6KG
探針
電信號(hào)接頭	配線轉(zhuǎn)接 BNC接頭 BNC三同軸接頭 SMA 接頭香蕉插頭線長(zhǎng)1.2米
電學(xué)性能	絕緣電阻 ≥4000MΩ 介質(zhì)耐壓 ≤200V 電流噪聲 ≤10pA
探針數(shù)量	4探針（可擴(kuò)展5探針）
探針材質(zhì)	鍍金鎢針（其他材質(zhì)可選）
探針尖	10μm
手動(dòng)探針移動(dòng)平臺(tái)
X軸移動(dòng)行程	20mm ±10mm（需手動(dòng)推動(dòng)滑臺(tái)）
X軸控制精度	≥500μm
R軸移動(dòng)行程	120° ±60°（需手動(dòng)旋轉(zhuǎn)探針桿）
R軸控制精度	≥500μm
Z軸移動(dòng)行程	2mm ±1mm
Z軸控制精度	≤50μm（需手動(dòng)螺紋調(diào)節(jié)探針桿）