桌面小型蒸鍍儀

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更新時間：2024-05-03 12:11:45瀏覽次數(shù)：73次

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鄭州科探儀器設(shè)備有限公司

經(jīng)營模式：其他

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產(chǎn)品簡介

桌面小型蒸鍍儀電阻式熱蒸發(fā)鍍膜機電阻式熱蒸發(fā)鍍膜機是鄭州科探儀器設(shè)備有限公司生產(chǎn)，臺式設(shè)計、軟件自動操控、高性價比，非常適合實驗室科研使用

詳細介紹

桌面小型蒸鍍儀

工藝控制：PC/PLC機制的自動控制、數(shù)據(jù)處理、工藝記憶儲存；

原位監(jiān)控：石英晶振監(jiān)測(QCM)，光學監(jiān)測，殘余氣體分析，其他原位監(jiān)測技術(shù)或控制；

襯底固定：單襯底固定，客戶化襯底固定方式；

- 襯底夾具：加熱，冷卻，偏置，旋轉(zhuǎn)等；

- 保護樣品：配有樣品擋板，可手動或自動開/關(guān)擋板，達到及時遮擋樣品效果；

不同真空度不同鍍膜時間鍍銅樣品圖

原樣品沒有鍍膜 115A 100秒機械泵

115A 100秒分子泵抽12分鐘 115A 120秒分子泵抽20分鐘

真空度越高越不易氧化越接近金屬本色

桌面小型蒸鍍儀KT-Z1650CVD

控制方式	7寸人機界面手動自動模式切換控制
加熱方式	數(shù)字式功率調(diào)整器
鍍膜功能	0-999秒5段可變換功率及擋板位和樣品速度程序
功率	≤1200W
輸出電壓電流	電壓≤12V 電流≤120A
真空度	機械泵 ≤5Pa（5分鐘）分子泵≤10^-3Pa
擋板類型	電控
真空腔室	石英+不銹鋼腔體φ160mm x 160mm
樣品臺	可旋轉(zhuǎn)φ62 （可安裝φ50基底）
樣品臺轉(zhuǎn)速	8轉(zhuǎn)/分鐘
樣品蒸發(fā)源調(diào)節(jié)距離	70-140mm
蒸發(fā)溫度調(diào)節(jié)	≤1800℃
支持蒸發(fā)坩堝類型	鎢絲藍帶坩堝鎢絲藍鎢舟碳繩
預(yù)留真空接口	KF25抽氣口 KF16真空計接口 KF16放氣口 6mm卡套進氣口
可選配擴展	機械真空泵（可抽真空 5分鐘＜5Pa）數(shù)顯真空計（測量范圍大氣壓到0.1Pa）分子泵機組（可抽真空20分鐘≤5x10-3Pa）