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          鄭州科探儀器設(shè)備有限公司
                                
                
                
          

							
          
                        			
          
		
          
	
          
	
	
          
		
          
            
          
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          真空光電探針臺(tái)
          
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          產(chǎn)品型號(hào)
          
							
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								更新時(shí)間：2024-05-03 09:56:28瀏覽次數(shù)：54次
							
          
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          真空光電探針臺(tái) 主要應(yīng)用于半導(dǎo)體行業(yè)、光電行業(yè)、集成電路以及封裝的測(cè)試。廣泛應(yīng)用于復(fù)雜、高速器件的精密電氣測(cè)量的研發(fā)，旨在確保質(zhì)量及可靠性，并縮減研發(fā)時(shí)間和器件制造工藝的成本
          
				
          
				
          
                    詳細(xì)介紹
                
          
			    
          
			        
          
			                                 
               真空光電探針臺(tái) 主要應(yīng)用于半導(dǎo)體行業(yè)、光電行業(yè)、集成電路以及封裝的測(cè)試。廣泛應(yīng)用于復(fù)雜、高速器件的精密電氣測(cè)量的研發(fā)，旨在確保質(zhì)量及可靠性，并縮減研發(fā)時(shí)間和器件制造工藝的成本
           
           
           
                該真空光電探針臺(tái) 的承片臺(tái)X/Y/Z三個(gè)方向均可在真空環(huán)境下調(diào)節(jié)，其中X方向調(diào)節(jié)范圍：0－30mm；y方向調(diào)節(jié)范圍：0－13mm；z方向調(diào)節(jié)范圍：0－13mm；用戶(hù)可根據(jù)需要自行調(diào)節(jié)。使用時(shí)將需檢測(cè)的器件固定在加熱臺(tái)上，再微調(diào)探針支架X/Y/Z 方向行程，通過(guò)顯微鏡觀察，使探針對(duì)準(zhǔn)檢測(cè)點(diǎn)后，即可進(jìn)行檢測(cè)。
           
           
           
          實(shí)驗(yàn)腔體
          腔體材質(zhì)
          304不銹鋼
          上蓋開(kāi)啟
          鉸鏈側(cè)開(kāi)
          內(nèi)腔體尺寸
          φ140x180
          加熱臺(tái)材質(zhì)
          304不銹鋼
          觀察窗尺寸
          φ75
          加熱臺(tái)尺寸
          50x50
          加熱臺(tái)溫度
          室溫-350℃可調(diào)
          加熱臺(tái)溫控誤差
          ±1℃
          真空度
          機(jī)械泵≤10Pa   分子泵≤10-3Pa
          真空抽氣口
          KF25
          氣體進(jìn)氣口
          3mm-6mm卡套接頭
          進(jìn)氣閥門(mén)
          高精密針閥
          抽氣閥門(mén)
          KF25真空擋板閥
          壓力表
          機(jī)械壓力表 -0.1-0.15mpa
          信號(hào)電極
          4個(gè)
          探針數(shù)量
          4個(gè)
          探針材質(zhì)
          φ1.5鎢針   其他材質(zhì)可選
          探針移動(dòng)平臺(tái)
          X軸移動(dòng)行程
          30mm    ±15mm
          X軸控制精度
          ≤0.1MM 
          Y軸移動(dòng)行程
          13MM    ±6.5mm
          Y軸控制精度
          ≤0.05MM 
          Z軸移動(dòng)行程
          13mm   ±6.5mm
          Z軸控制精度
          ≤0.05MM 
          信號(hào)電極
          電極芯
          1芯
          電極引出接頭
          BNC母頭
          電極引出線
          銅網(wǎng)信號(hào)屏蔽線
          BNC引出接頭
          X4
          額定電流
          ≤5A
          額定電壓
          ≤220V
          電極芯直徑
          φ1mm
          接觸電阻
          ≤5MΩ
          絕緣電阻
          ≥1000 MΩ
          外殼接地
          是
          電子顯微鏡
          電子顯微鏡根據(jù)客戶(hù)需要配置不同倍率 請(qǐng)和客服溝通
                           
			        
          
			    
          
                                                				
          
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