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VTC-200-4P噴霧旋轉(zhuǎn)涂覆機(jī)

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北京鴻瑞正達(dá)科技有限公司

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產(chǎn)品簡(jiǎn)介

產(chǎn)品簡(jiǎn)介：VTC-200-4P紅外加熱噴霧旋轉(zhuǎn)涂膜機(jī)、勻膠機(jī)、顯影機(jī)、甩膠機(jī)、旋涂?jī)x、spincoater主要用于半導(dǎo)體工藝、制版工藝過(guò)程中圖形的顯影及表面涂覆工藝，是一款上蓋可以加熱的勻膠機(jī)、顯影機(jī)，在勻膠或顯影過(guò)程結(jié)束后使用加熱功能使膠體薄膜中的溶劑繼續(xù)蒸發(fā)到含量

詳細(xì)介紹

產(chǎn)品簡(jiǎn)介： VTC-200-4P 紅外加熱噴霧旋轉(zhuǎn)涂膜機(jī)、勻膠機(jī)、顯影機(jī)、甩膠機(jī)、旋涂?jī)x、 spin coater 主要用于半導(dǎo)體工藝、制版工藝過(guò)程中圖形的顯影及表面涂覆工藝，是一款上蓋可以加熱的勻膠機(jī)、顯影機(jī)，在勻膠或顯影過(guò)程結(jié)束后使用加熱功能使膠體薄膜中的溶劑繼續(xù) 蒸發(fā)到含量。工作過(guò)程中顯影液或膠體以霧狀噴到樣片上，使溶液在樣片表面均勻分布，有利于薄膜和顯影過(guò)程的順利進(jìn)行。本機(jī)電機(jī)部分、溫度控制部分、注液部分分別使用獨(dú)立電源進(jìn)行控制，電機(jī)調(diào)速系統(tǒng)則采用了抗干擾性高的 PLC 進(jìn)行控制，轉(zhuǎn)數(shù)在 100-2000RPM 范圍內(nèi)可調(diào)。涂膜機(jī)在工作時(shí)設(shè)有兩個(gè)階段，在啟動(dòng)前根據(jù)實(shí)際需要進(jìn)行設(shè)置。 VTC-200-4P 紅外加熱噴霧旋轉(zhuǎn)涂覆機(jī)、勻膠機(jī)、甩膠機(jī)、旋涂?jī)x、顯影機(jī)、 spincoater 啟動(dòng)快速、轉(zhuǎn) 數(shù)穩(wěn)定，可以保證膜層厚度的均勻性與一致性。對(duì)于樣件的固定，采用橡膠吸盤(pán)和磁力鋼片模板，不僅樣件取放自如，而且操作簡(jiǎn)便。此外，在安裝結(jié)構(gòu)上，采取了減震措施，降低運(yùn) 轉(zhuǎn)時(shí)的噪音。

產(chǎn)品型號(hào)

VTC-200-4P 紅外加熱噴霧旋轉(zhuǎn)涂覆機(jī)、勻膠機(jī)、顯影機(jī)、甩膠機(jī)、旋涂?jī)x、 spin coater

安裝條件

本設(shè)備要求在海拔 1000m 以下，溫度 25℃±15℃ ，濕度 55%Rh±10%Rh 下使用。

1、水：設(shè)備配有進(jìn)出水口

2、電： AC220V 50Hz，必須有良好接地。

3、氣：不需要

	4、工作臺(tái)：尺寸 600mm×600mm×700mm ，承重 50kgs 以上 5、通風(fēng)裝置：需要
主要特點(diǎn)	1、采用橡膠吸盤(pán)和磁力鋼片模板固定樣件，不僅樣件取放自如，而且操作簡(jiǎn)便；橡膠吸盤(pán)和磁力鋼片模板大小可根據(jù)需要進(jìn)行定制。 2、該機(jī)上蓋具有紅外加熱功能，可以使溫度保持在一個(gè)穩(wěn)定值。 3、本機(jī)上蓋具有 4 組噴嘴，可使膠體以霧狀噴在樣片表面，使薄膜更均勻。 4、電機(jī)部分、溫度控制部分、注液部分分別使用獨(dú)立電源的方式，電機(jī)調(diào)速系統(tǒng) 則采用了抗干擾性高的 PLC 進(jìn) 行控制，數(shù) 值顯示更直觀可靠，轉(zhuǎn) 數(shù) 在 100-2000RPM 內(nèi)可調(diào)。 5、涂膜機(jī)在工作時(shí)設(shè)有兩個(gè)階段，在啟動(dòng)前根據(jù)實(shí)際需要，可分別進(jìn)行時(shí)間 1、轉(zhuǎn)速 1、時(shí)間 2、轉(zhuǎn)速 2 的設(shè)置。設(shè)置完成啟動(dòng)后，涂膜機(jī)先以轉(zhuǎn)速 1 在時(shí)間 1 時(shí)間內(nèi)運(yùn)轉(zhuǎn)，使涂膜物質(zhì)逐漸分散開(kāi)。當(dāng)時(shí)間 1 時(shí)間結(jié)束時(shí)，涂膜機(jī)自動(dòng)進(jìn)入時(shí)間 2 時(shí)間階段運(yùn)轉(zhuǎn)，使涂膜物質(zhì)更加均勻。
	6、噴霧旋轉(zhuǎn)涂覆機(jī)啟動(dòng)快速、轉(zhuǎn)數(shù)穩(wěn)定，可以保證膜層厚度的均勻性與一致性。 7、在安裝結(jié)構(gòu)上，采取了減震措施，降低運(yùn)轉(zhuǎn)時(shí)的噪音。 8、腔體采用聚丙烯材質(zhì)，使用壽命更長(zhǎng)，提高耐化學(xué)腐蝕性和優(yōu)異的抗應(yīng)力開(kāi)裂性能；機(jī)身采用鑄鋁結(jié)構(gòu)，結(jié)實(shí)耐用且質(zhì)輕。
技術(shù)參數(shù)	1、電源： AC220/110V、 50/60Hz 2、電機(jī)功率：功率 210W 3、雙轉(zhuǎn)速涂膜功能:雙轉(zhuǎn)速及涂膜時(shí)間分別設(shè)置，在啟動(dòng)后先低速運(yùn)轉(zhuǎn)(滴涂膠液)，然后自動(dòng)轉(zhuǎn)換到高速運(yùn)轉(zhuǎn)(勻膠)。轉(zhuǎn)速穩(wěn)定（±1%），涂膜物質(zhì)均勻。轉(zhuǎn)數(shù) 1： 100-2000 RPM 有效時(shí)間 1： 1--200s 有效轉(zhuǎn)數(shù) 2： 100-2000 RPM 有效時(shí)間 2： 1--200s 有效 4、適用于 Φ153mm樣件涂膜。 5、上蓋加熱溫度范圍： 0-100℃。 6、環(huán)境溫度 5-40℃，相對(duì)濕度不大于 85%RH,設(shè)備周?chē)鸁o(wú)強(qiáng)烈震源和腐蝕氣體影響。
規(guī)格尺寸	主機(jī)外形尺寸 500mm （長(zhǎng)） ×410mm （寬） ×330mm （高），重量 24Kg。

標(biāo)準(zhǔn)配件	1	磁性鋼片模板（Ф160mm）	1 件
	2	吸盤(pán)(Ф153mm)	1 件
	3	溫控箱	1 臺(tái)
	4	蠕動(dòng)泵	6 臺(tái)
可選配件	橡膠吸盤(pán)
可選配件