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無油渦旋真空泵

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更新時間：2024-05-27 13:13:01瀏覽次數(shù)：166次

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德耐爾節(jié)能科技（上海）股份有限公司

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產(chǎn)品簡介

無油渦旋真空泵是一種新型干式真空泵，它是由渦旋式壓縮機(jī)演化而來的。工作過程中動、定渦旋盤無接觸，依靠相對運動形成容積不斷縮小的新月形壓縮腔，通過吸氣，壓縮，排氣的循環(huán)，使氣體從抽氣口吸入，排氣口排出，實現(xiàn)對被抽腔體抽真空

詳細(xì)介紹

· 簡介

無油渦旋真空泵是一種新型干式真空泵，它是由渦旋式壓縮機(jī)演化而來的。其特點：間隙小、泄露小，具有較高的壓縮比，在較寬的工作壓力范圍內(nèi)有穩(wěn)定的抽速；工作壓力范圍寬，由于壓縮腔容積的變化是連續(xù)的，因而驅(qū)動扭矩和功率變化小；動靜渦旋形成的工作腔由于是對稱的，因而泵的結(jié)構(gòu)簡單、零部件少，故工作平穩(wěn)、振動小、噪音低、工作可靠性高渦旋型線從等界面優(yōu)化為變截面，使抽除氣體的能力大大增強(qiáng),能在大氣壓下啟動，可直排大氣獨立工作；對被抽容器無污染。

· 工作原理

無油渦旋真空泵是由泵頭、電機(jī)、機(jī)座等構(gòu)成。泵頭含動、定渦旋盤，曲軸，密封件，風(fēng)扇和泵殼等。渦旋盤由圓形平面和其上伸出的一條或幾條漸開線螺旋盤組成，定渦旋盤和動渦盤的組成渦旋盤復(fù)構(gòu)成無油渦旋真空泵的基本抽氣結(jié)構(gòu)。工作過程中動、定渦旋盤無接觸，依靠相對運動形成容積不斷縮小的新月形壓縮腔，通過吸氣，壓縮，排氣的循環(huán)，使氣體從抽氣口吸入，排氣口排出，實現(xiàn)對被抽腔體抽真空。

· 性能特點

·抽速：4m3/h到60m3/h；

·高真空：極限真空可達(dá)1Pa；

·全無油：不返油，不噴油；

·啟停：能在大氣壓和真空之間頻繁啟動和關(guān)閉；

·安靜：低噪音、低振動；

·小巧：體積小、重量輕

· 結(jié)構(gòu)

結(jié)構(gòu)緊湊，運輸方便，真空低。免維護(hù)，無污染。

· 應(yīng)用

分析測試儀器，能譜儀，掃描電鏡真空鍍膜（PVD、CVD、LPD等）電子束焊接、激光焊接真空爐、單晶爐、烘箱，手套箱、排氣臺預(yù)處理室、樣品傳輸抽真空，He質(zhì)譜檢漏，稀有特殊氣體回收在循環(huán)，空間環(huán)境模擬。