美國ARC(Advanced Radiation Corporation)疝氣燈，ARC(Advanced Radiation Corporation)汞燈，ARC(Advanced Radiation Corporation)汞疝氣燈，ARC(Advanced Radiation Corporation)紫外燈，ARC(Advanced Radiation Corporation)高強度弧光燈

美國進口ARC疝氣燈

Advanced Radiation Corporation的深紫外光(DUV)短弧燈常用于短波長高強度紫外光刻，其設計、

制造和性能。

深紫外線輻射是由汞-氙等離子體產(chǎn)生的。在光源制造過程中，必須仔細控制等離子體成分的精確濃

度和比例，以獲得輸出輻射轉換的大輸入功率。這里所描述的八種DUV燈代表了美國DUV曝光設備和系

統(tǒng)的主要制造商三年多的研究和開發(fā)成果。

這些燈適用于幾種DUV光刻配方。聚甲基丙烯酸甲酯在210 ~ 260nm范圍內(nèi)敏感;200 - 330nm;AZ2400

系列，范圍240 - 310nm;而ODVR系列在200到315 nm的范圍內(nèi)都很敏感。

產(chǎn)品型號：

DUV-350

DUV-500

DUV-1000

DUV-2000

DUV-350-30118

DUV-500-30036

DUV-500-30055

DUV-500-30056