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          行業(yè)產(chǎn)品
          
							
						
          
						
            
							
          • 行業(yè)產(chǎn)品
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          成都漢普升科技有限公司
                                
                
                
          

							
          
                        			
          
		
          
	
          
	
	
          
		
          
            
          
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          成都真空設(shè)備廠家 CJC系列磁控濺射鍍膜機(jī)
          
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          參   考   價(jià):
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          具體成交價(jià)以合同協(xié)議為準(zhǔn)
          
				
          
				
				
          
						
          
							
          產(chǎn)品型號(hào)
          
							
          品       牌其他品牌
          
		                    
          廠商性質(zhì)生產(chǎn)商
          
		                    							
          所  在  地成都市
          
						
          
                        
                    
          
					 							        										
          聯(lián)系方式：胡先生查看聯(lián)系方式
          
									                                                 
          
						
          
							
          
								更新時(shí)間：2023-11-23 15:19:12瀏覽次數(shù)：122次
							
          
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          經(jīng)營(yíng)模式：生產(chǎn)廠家
          
						
          商鋪產(chǎn)品：30條
          
						
          所在地區(qū)：四川成都市
          
						
          聯(lián)系人：胡先生 （銷售）
          												
					
          
				
          
			
          			
          
                                
          
                    產(chǎn)品簡(jiǎn)介
                
          
				
          
                      
          
                                                                      
          
					
          成都真空設(shè)備廠家 CJC系列磁控濺射鍍膜機(jī) 共濺射直流射頻兼容 粉末或顆粒上沉積薄膜 可定制
          
				
          
				
          
                    詳細(xì)介紹
                
          
			    
          
			        
          
			            
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          ●該設(shè)備用于納米級(jí)單層或多層膜、類金剛石薄膜、金屬膜、導(dǎo)電膜、半導(dǎo)體膜和非導(dǎo)電膜等功能薄膜的制備，可實(shí)現(xiàn)共濺射，直流、射頻兼容，適于科研院所和企業(yè)進(jìn)行功能薄膜研發(fā)、教學(xué)和新產(chǎn)品開(kāi)發(fā)，同時(shí)可在微米級(jí)粉末或顆粒上沉積薄膜進(jìn)而達(dá)到表面改性的功能。建議選用公Research系列磁控濺射平臺(tái)。

          ●主體結(jié)構(gòu)：全封閉框架結(jié)構(gòu)，機(jī)柜和主機(jī)為分體式機(jī)構(gòu)。
          ●極限真空度：≤６.６３×10－5Pa，壓升率優(yōu)于國(guó)家標(biāo)準(zhǔn)。    
          ●真空配置：高速直聯(lián)旋片泵一臺(tái)，配置尾氣處理裝置，超高分子泵一臺(tái)。
          ●真空測(cè)量：兩路電阻規(guī)，一路電離規(guī)；電阻規(guī)和電離規(guī)均采用防爆型金屬封結(jié)真空規(guī)。
          ●工件架系統(tǒng)：行星工件盤與公轉(zhuǎn)工件盤可選，垂直濺射與共濺射兼容，可配置１個(gè)加熱臺(tái)，采用PID控制可烘烤加熱到700℃。
          ●磁控濺射系統(tǒng)：配置３個(gè)Φ50mm可折疊磁控靶（可擴(kuò)展至4靶機(jī)構(gòu)），向上濺射成膜；靶基距可調(diào)；靶內(nèi)均通入冷卻水冷卻。
          ●電源 ：2套直流電源；1套全固態(tài)射頻電源；一套200W直流偏壓電源。
          ●充氣系統(tǒng)：配置三路供氣，二路分別配置質(zhì)量流量控制器，線性±0.5 % F.S，重復(fù)精度±0.2% F.S，0-5V輸出，在觸摸屏上設(shè)置流量。
          ●電氣控制系統(tǒng)：采用功能化模塊設(shè)計(jì)，匹配西門子人機(jī)界面+西門子控制單元，濺射時(shí)間可以設(shè)定并倒計(jì)時(shí)，能夠根據(jù)工藝需求自動(dòng)濺射。

          ●特別說(shuō)明：根據(jù)用戶不同的工況和工藝要求，公司愿與客戶聯(lián)合研發(fā)，共享知識(shí)產(chǎn)權(quán)，公司致力于工藝與設(shè)備的匹配，該設(shè)備為公司與電子科技大學(xué)聯(lián)合研發(fā)。

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