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          行業(yè)產(chǎn)品
          
							
						
          
						
            
							
          • 行業(yè)產(chǎn)品
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          上海德竹芯源科技有限公司
                                
                
                
          

							
          
                        			
          
		
          
	
          
	
	
          
		
          
            
          
                當(dāng)前位置：上海德竹芯源科技有限公司>>半導(dǎo)體封裝設(shè)備>>Triton160 等離子清洗機(jī)
            
          
			
          
				
          
					
          Triton160 等離子清洗機(jī)
          
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          參  考  價(jià)面議  
          
					                    
          具體成交價(jià)以合同協(xié)議為準(zhǔn)
          
				
          
				
				
          
						
          
							
          產(chǎn)品型號Triton160
          
							
          品       牌
          
		                    
          廠商性質(zhì)其他
          
		                    							
          所  在  地上海
          
						
          
                        
                    
          
					 							        										
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								更新時間：2024-05-15 08:56:01瀏覽次數(shù)：163次
							
          
							聯(lián)系我時，請告知來自 智能制造網(wǎng)
						
          
				
          
				
			
          
            
						
          
			
          
									
          
                                
          
                    產(chǎn)品簡介
                
          
				
          
                      
          
                                                                      
          
					
          該設(shè)備主要應(yīng)用于金屬鍵合(wire-bond)前的等離子清洗，塑封(Molding)前的等離子清洗，底部填充(Underfill)前的等離子清洗，光刻膠的去除(Descum)等。
          
				
          
				
          
                    詳細(xì)介紹
                
          
			    
          
			        
          
			                                   
                                   
                                       
          應(yīng)用領(lǐng)域
          金屬鍵合(wire-bond)前的等離子清洗
               ● 通過等離子表面處理可以去除焊盤表面的外來污染物與金屬氧化物，提供一個清潔的焊接面，提升后續(xù)金屬鍵合工藝的良率及鍵合強(qiáng)力。

          塑封(Molding)前的等離子清洗
               ● 等離子清洗、活化工藝可去除器件表面各種納米級的污染物殘留，并提升表面能，保證塑封料與基底材料的緊密結(jié)合，減少分層等不良的產(chǎn)生。

          底部填充(Underfill)前的等離子清洗
               ● 通過等離子表面處理可以去除焊盤表面的外來污染物與金屬氧化物，提供一個清潔的焊接面，提升后續(xù)金屬鍵合工藝的良率及鍵合強(qiáng)力。

          光刻膠的去除(Descum)
               ● 在微電子行業(yè)中，使用等離子去除光刻膠是一種常用的工藝，通過等離子處理可去除顯影后孔底的殘膠，并對孔的側(cè)壁形貌就行修飾，提升后續(xù)工藝良率。此外，濕法去膠后，用等離子去除表面殘留的納米級光刻膠殘留也可有效提升后續(xù)工藝良率。

          設(shè)備特點(diǎn)
               ● 13.56MHz 射頻電源與自動匹配系統(tǒng)，具有優(yōu)異的穩(wěn)定性與可重復(fù)性
               ● 靈活的電極結(jié)構(gòu)設(shè)置與優(yōu)化的氣體饋入、分布方案，確保大批量處理的均勻性
               ● 精準(zhǔn)安全的反應(yīng)源供應(yīng)系統(tǒng)，可滿足多種工藝需求
               ● PLC與工控機(jī)提供穩(wěn)定的過程控制，設(shè)備運(yùn)行的實(shí)時參數(shù)通過顯示屏直觀呈現(xiàn)
               ● 系統(tǒng)穩(wěn)定可靠，易于保養(yǎng)與維護(hù)

          標(biāo)準(zhǔn)技術(shù)規(guī)格
               ● 設(shè)備尺寸：700W × 1200D × 1810H mm -- 2215H mm 帶信號燈高度
               ● 腔體尺寸：518W × 648D × 518H mm，173L
               ● 腔體支持電極數(shù)量：8，電極間距：57mm
               ● 功率電極尺寸：405W × 450D mm，接地電極尺寸：477W × 450D mm
               ● 射頻功率及頻率：1250W / 13.56MHz
               ● 氣路配置：標(biāo)配兩路 / 最多可擴(kuò)充至 5 路氣體
               ● 真空泵標(biāo)準(zhǔn)配置：65m3/h油泵 / 80m3/h干泵（可選）
                                   
                                 
                                 
                                   
                                       

                                   
                                 
                                 
			        
          
			    
          
                			    
          關(guān)鍵詞：工控機(jī)  過程控制
          
                                                				
			
          
			
          
		
          
	
          
	
    
          
		
          
			
          
				
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