測試環(huán)境條件	環(huán)境溫度為5～35℃、相對濕度≤ 85%RH、氣壓(86～106)kPa 試驗(yàn)箱內(nèi)無試樣	溫度范圍	（RT＋20）℃～450℃
溫度波動	≤±0.5℃，按GB/T5170-2008表示	溫度均勻度	2.0℃（RT+200℃）, ≤3.0℃（201℃+300℃）, ≤5.0℃（301℃+450℃）
溫度上升時間1	（環(huán)境溫度＋20）℃～450℃≤115min	箱內(nèi)殘留氧氣濃度	600ppm,進(jìn)氣壓力為1.5kgf/cm2

氮?dú)飧邷睾嫦洚a(chǎn)品廣泛應(yīng)用晶圓片的硬烤、軟烤，LCD、CMOS、IS、醫(yī)藥、實(shí)驗(yàn)室、航天航空等眾多工業(yè)領(lǐng)域的預(yù)熱、老化、烘烤、熱固化、淬火去應(yīng)力等工藝。

詳細(xì)介紹

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1.外壁材料采用雙面鍍鋅鋼板，表面噴塑處理；內(nèi)壁材料：SUS不銹鋼板；箱體保溫材料：玻璃纖維；門保溫材料：玻璃纖維。

2.室內(nèi)空間設(shè)置樣品架支撐調(diào)節(jié)分度架，在分度架上設(shè)置卡槽，樣品架可輕放入和取出，托盤采用不繡鋼材料，承重≥10KG/層，分別支持4寸晶圓25片，6寸晶圓25片。

3.烘箱后壁開設(shè)一個氮?dú)饨涌冢梢酝饨拥獨(dú)?，使箱?nèi)處于厭氧狀態(tài)。

4.具有帶電池保護(hù)的RAM,可保存設(shè)備的設(shè)定值、采樣值及采樣時刻的時間；曲線記錄周期可設(shè)定1S～120sec，記憶時間儲存連續(xù)存儲720天歷史曲線,歷史數(shù)據(jù)(當(dāng)采樣時間為2min), 無連續(xù)使用時，數(shù)據(jù)可以保存長達(dá)10年以上。

5.故障報警及原因、處理提示功能；斷電保護(hù)功能；上下限溫度保護(hù)功能；定時功能(自動啟動及自動停止運(yùn)行)、自診斷。

關(guān)鍵詞：高溫烘箱

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