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CCD全自動(dòng)曝光機(jī)

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更新時(shí)間：2023-06-18 08:49:12瀏覽次數(shù)：161次

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產(chǎn)品簡(jiǎn)介

產(chǎn)品詳細(xì)介紹詳細(xì)參數(shù)內(nèi)容規(guī)格A.一般規(guī)格曝光系統(tǒng)光源：鹵化金屬燈

詳細(xì)介紹

產(chǎn)品詳細(xì)介紹
詳細(xì)參數(shù)

內(nèi)容	規(guī)格
A.一般規(guī)格
曝光系統(tǒng)	光源：鹵化金屬燈，輸出功率5KW，雙燈
	均勻度：≥85%（min/max)
	強(qiáng)度：40mw/cm²
	有效曝光面積：546*622mm
Panel規(guī)格	尺寸：254304.8mm至558.8635mm(10''12"至22"25")
	厚度：0.05mm(不含銅)至2.0mm
玻璃尺寸	上：L800W7188t 下：L716W6288t
	PCB靠操作面中間對(duì)位
曝光作業(yè)	雙面曝光/內(nèi)層板用底片CCD自動(dòng)對(duì)位系統(tǒng)，每片確認(rèn)。對(duì)準(zhǔn)精度±10um
底片尺寸	24"*27" Cycle Time:機(jī)械動(dòng)作12秒+真空延遲+曝光時(shí)間
密合模式	真空密合，真空度-300~-500mmHg(附表顯示)
操作方式	操作系統(tǒng)：PC系統(tǒng)+PLC+人機(jī)界面
機(jī)臺(tái)尺寸	外部尺寸：2962L2622W2040H mm
	輸送面高度：1040mm+50mm(卸下輪子高度可降980)
	機(jī)臺(tái)重量：3000Kg
公用系統(tǒng)	電力：AC380V 3φ 50/60Hz 24KVA
	氣壓源：5~6Kg/cm2
	冰水系統(tǒng)：7~11℃，60-80L/min
B.系統(tǒng)架構(gòu)
Panel傳送系統(tǒng)	進(jìn)出料傳動(dòng)：滾輪帶動(dòng)PCB
	進(jìn)料定位：二段式靠邊定位，前緣利用滾輪慢速傳動(dòng)定位，
	側(cè)邊以伺服馬達(dá)靠邊定位
	曝光室進(jìn)出移載：配合線性滑軌，以伺服馬達(dá)帶動(dòng)移載機(jī)構(gòu)
	移載機(jī)取置：氣缸帶動(dòng)取置架上下，真空吸盤組依板寬手動(dòng)調(diào)整
曝光臺(tái)框	玻璃對(duì)玻璃方式采用高UV透光率玻璃
	上臺(tái)框由伺服馬達(dá)帶動(dòng)開關(guān)，上下框間由四支定位銷定位
	底片吸附在臺(tái)面真空槽，PCB以下臺(tái)框真空吸附
靜電消除	于進(jìn)料段裝置上下靜電消除棒
冷卻	燈源冷卻：氣冷，內(nèi)循環(huán)直接氣冷；燈管壽命保固800小時(shí)
	燈室冷卻：燈頭部份為空氣冷卻，燈管為間接氣冷
	曝光室冷卻：氣冷，抽取曝光室內(nèi)空氣，經(jīng)HEPA過濾后，再經(jīng)冰水排系統(tǒng)冷卻吹入曝光室內(nèi)，保持曝光室內(nèi)溫度，并控制臺(tái)面溫度
	臺(tái)面溫度22℃±2℃
潔凈控制	機(jī)臺(tái)使用99.97%~99.99%HEPA Filter 客戶潔凈室等級(jí)需求：Class 10000
UV光源監(jiān)控	光源保護(hù)：UV點(diǎn)燈/熄燈/重點(diǎn)燈保護(hù)
	功率控制：強(qiáng)弱燈切換
	狀態(tài)監(jiān)視：內(nèi)建電壓、員流、功率及UV強(qiáng)度感測(cè)顯示
	遮光器：旋轉(zhuǎn)開啟，裝置于燈室內(nèi)，由馬達(dá)帶動(dòng)
	曝光監(jiān)控：內(nèi)建UV能量積算顯示
KW數(shù)切換	2KW、5KW切換
對(duì)位方式	4靶標(biāo)CCD影像對(duì)位
底片固定	臺(tái)面玻璃溝槽吸真空
調(diào)整機(jī)構(gòu)	微步進(jìn)馬達(dá)驅(qū)動(dòng)上臺(tái)框微調(diào)機(jī)構(gòu)
控制方式	自動(dòng)對(duì)位及觸控式熒幕PC+PLC
視覺光源	LED式CCD背光組
底片對(duì)位精度	±10μm內(nèi)(不含漲縮)
備注	外觀為不銹鋼