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          行業(yè)產(chǎn)品

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          芯米(廈門)半導(dǎo)體設(shè)備有限公司


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          全自動(dòng)涂膠顯影機(jī)

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          品       牌

          廠商性質(zhì)其他

          所  在  地

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          更新時(shí)間:2023-06-17 13:46:21瀏覽次數(shù):562次

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          經(jīng)營模式:其他

          商鋪產(chǎn)品:2條

          所在地區(qū):

          產(chǎn)品簡介

          全自動(dòng)涂膠顯影機(jī) XMTA-800A

          詳細(xì)介紹

        1. 基片尺寸
          ψ50mm~ψ200mm
        2. Cassette 晶舟
          2-4個(gè)晶舟
        3. Coater Unit 涂膠單元
          1、PR類型:正膠/ 負(fù)膠 ;2、光刻膠噴頭 2 ~ 4 個(gè); 3、EBR ( Edge Bead Remover ); 4、馬達(dá)旋轉(zhuǎn)速度 Max. 6,000rpm; 5、高精度定量泵浦≦0.1cc ( 100cp以下)
        4. Robot Arm 機(jī)械手臂
          3軸; X1, X2, X3
        5. Hot Plate熱盤單元
          溫度50℃-180℃
        6. Cooling Plate冷盤單元
          溫度18-28℃
        7. 機(jī)臺(tái)尺寸
          D(1200+2410)× W1700 × H2300 (mm)
        8. 顯影機(jī)基片尺寸
          ψ50mm~ψ300mm
        9. Developer 顯影單元
          1、可應(yīng)用噴頭 Spray, Stream, E2 , H ;2、馬達(dá)旋轉(zhuǎn)速度 Max. 5,000rpm
        10. 關(guān)鍵詞:機(jī)械手 顯影機(jī)
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