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          行業(yè)產(chǎn)品

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          富泰微科學儀器(上海)有限公司


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          日立 超高分辨場發(fā)射掃描電子顯微鏡SU8600系列

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          參  考  價面議
          具體成交價以合同協(xié)議為準

          產(chǎn)品型號

          品       牌

          廠商性質其他

          所  在  地

          聯(lián)系方式:李經(jīng)理查看聯(lián)系方式

          更新時間:2023-06-07 08:25:33瀏覽次數(shù):518次

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            暫無信息

          經(jīng)營模式:其他

          商鋪產(chǎn)品:27條

          所在地區(qū):

          聯(lián)系人:李經(jīng)理

          產(chǎn)品簡介

          產(chǎn)品介紹 隨著快速數(shù)據(jù)采集和數(shù)據(jù)處理技術的發(fā)展,電子顯微鏡進入了一個不僅重視數(shù)據(jù)質量,而且重視其采集過程的時代。SU8600系列秉承了Regulus8200系列的高質量圖像、大束流分析及長時間穩(wěn)定運行的冷場成像技術,同時還大大提升了高通量、自動數(shù)據(jù)獲取能力。

          詳細介紹

          超高分辨場發(fā)射掃描電子顯微鏡 SU8600系列.jpg



          隨著快速數(shù)據(jù)采集和數(shù)據(jù)處理技術的發(fā)展,電子顯微鏡進入了一個不僅重視數(shù)據(jù)質量,而且重視其采集過程的時代。SU8600系列秉承了Regulus8200系列的高質量圖像、大束流分析及長時間穩(wěn)定運行的冷場成像技術,同時還大大提升了高通量、自動數(shù)據(jù)獲取能力。


          * 設備照片包含選配項。


          產(chǎn)品特點:


          超高分辨成像


          日立的高亮度電子源可保證了即使在超低著陸電壓下,也可獲得超高分辨的圖像。



          0.8 kV電壓條件下觀察RHO型沸石的實例。左圖為顆粒整體的形貌,右圖為放大圖像,顆粒表面細微的臺階結構清晰可見。低電壓觀察對于減少電子束損傷和獲取表面形狀信息較為有效。


          高襯度的低加速電壓背散射圖像



          3D NAND截面觀察;


          在低加速電壓條件下,背散射電子信號能夠明顯的顯示出氧化硅層和氮化硅層的襯度差別。


          3D NAND截面觀察(加速電壓:1.5kV)


          快速BSE圖像:新型閃爍體背散射電子探測器(OCD)*


          由于使用了新型的OCD探測器,即使掃描時間不到1秒,也仍然可以觀察到Fin-FET清晰的深層結構圖像.


          5納米制程SRAM的內(nèi)部結構觀察 (加速電壓:30kV,掃描時間<1秒)



          *的自動化功能*


          EM Flow Creator 允許客戶創(chuàng)建連續(xù)圖像采集的自動化工作流程。EM Flow Creator將不同的SEM功能定義為圖形化的模塊,如設置放大倍率、移動樣品位置、調節(jié)焦距和明暗對比度等。用戶可以通過簡單的鼠標拖拽,將這些模塊按邏輯順序組成一個工作程序。經(jīng)過調試和確認后,該程序便可以在每次調用時自動獲得高質量、重現(xiàn)性好的圖像數(shù)據(jù)。



          靈活的用戶界面


          原生支持雙顯示器,提供靈活、高效的操作空間。6通道同時顯示與保存,實現(xiàn)快速的多信號觀測與采集。


          1,2,4 或6通道信號可在同一個顯示器上同時顯示,可切換內(nèi)容包括SEM各探測器以及樣品室相機和導航相機。可以通過使用兩個顯示器來擴展工作空間,可定制的用戶界面以提高工作效率。


          產(chǎn)品規(guī)格:


          機型SU8600系列
          電子光學系統(tǒng)二次電子像分辨率0.6 nm@15 kV
          0.7 nm@1 kV *
          放大倍率20 to 2,000,000 x
          電子槍冷場發(fā)射電子源,支持柔性閃爍功能,包含陽極烘烤系統(tǒng)。
          加速電壓0.5 to 30 kV
          著陸電壓*0.01 to 20 kV
          探測器(部分為選配項)上探測器(UD)
          UD ExB能量過濾器,包含SE/BSE信號混合功能
          下探測器(LD)
          頂探測器(TD)
          TD能量過濾器
          鏡筒內(nèi)背散射電子探測器(IMD)
          半導體式背散射電子探測器(PD-BSED)
          新型閃爍體式背散射電子探測器(OCD)
          陰極熒光探測器(CLD)
          掃描透射探測器(STEM Detector)
          附件(部分為選配項)導航相機、樣品室相機、X射線能譜儀(EDS)、背散射電子衍射探測器(EBSD)
          軟件
          (部分為選配項)EM Flow Creater、HD Capture( 40,960×30,720 像素)
          樣品臺馬達驅動軸5軸馬達驅動(X/Y/R/Z/T)
          馬達驅動軸X:0~110 mm
          Y:0~110 mm
          Z:1.5~40 mm
          T:-5~70°
          R:360°
          樣品室樣品尺寸

          直徑:150 mm


          * 減速模式下



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