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          柯岷國際貿(mào)易（上海）有限公司
                                
                
                
          

							
          
                        			
          
		
          
	
          
	
	
          
		
          
            
          
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          高性能聚焦離子束系統(tǒng) MI4050
          
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          聯(lián)系方式：宋先生查看聯(lián)系方式
          
									                                                 
          
						
          
							
          
								更新時間：2024-06-18 10:21:30瀏覽次數(shù)：115次
							
          
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                    產(chǎn)品簡介
                
          
				
          
                      
          
                                                                      
          
					
          MI4050是具有以下特征的高性能聚焦離子束系統(tǒng)：新型電子光學(xué)系統(tǒng)，可達(dá)到高水準(zhǔn)的SIM像分辨率?大束流使加工速度得以提升?提高了低加速電壓的分辨率，使得高品質(zhì)TEM樣品制備成為可能可用于截面加工觀察，高品質(zhì)TEM樣品制備，電路修復(fù)，Vector Scan加工，微納米級微細(xì)圖形及磨具加工，利用沉積功能制作3維構(gòu)造等眾多樣品加工應(yīng)用。
          
				
          
				
          
                    詳細(xì)介紹
                
          
			    
          
			        
          
			                         
                           
          ◆ 大探針電流90nA，實現(xiàn)快速加工和大面積加工
          日立掃描電子顯微鏡
          焊線的截面加工
          （加工尺寸　寬：95µm　深：55µm， 加工時間　20min）

          ◆ 通過提高極低加速電壓（0.5kV～）加工及低加速電壓二次電子圖像分辨率，實現(xiàn)制備損傷率更低的TEM樣品
          *1kV以下為選配

          ◆ 可觀察高分辨率SIM成像（二次電子成像分辨率高達(dá)4nm@30kV）
          日立掃描電子顯微鏡     日立掃描電子顯微鏡
                  正常部位                彎折部位
                          鋁罐的截面SIM圖像

          ◆ 采用高精度5軸電動機械優(yōu)中心馬達(dá)臺
          可在樣品臺移動（包括傾斜）時自動對多個部位進(jìn)行多種加工。

          ◆ *的操作性能和多種多樣的加工模式
          image.png截面制備程序加工
          image.pngTEM/STEM樣品程序加工
          image.png自動連續(xù)加工
          image.pngTEM樣品自動連續(xù)精加工軟件
          image.png位圖加工
          image.pngVector Scan加工
          image.png制備納米精度三維結(jié)構(gòu)樣品 其他
          日立掃描電子顯微鏡
          懸空納米導(dǎo)線制作
          樣品來源：兵庫縣立大學(xué) 松井真二 先生

          ◆ SIM像三維重構(gòu)分析
          等間隔截面加工與截面觀察的往復(fù)進(jìn)行，可取的多張截面連續(xù)SIM像，并進(jìn)行3維重構(gòu)。由此可判斷樣品中顆粒，孔洞等3維分布狀態(tài)。
          日立掃描電子顯微鏡     日立掃描電子顯微鏡
                                                                              半導(dǎo)體封裝材料中的填料分布分析示例

          ◆ 使用多路氣體系統(tǒng)（MGS-II）修復(fù)電路
          該系統(tǒng)可對應(yīng)保護(hù)膜材料、配線材料、絕緣膜、加速蝕刻等多種用途，照射多種氣體。
          image.png 鎢沉積氣體
          image.png 鉑沉積氣體
          image.png 絕緣膜制備用沉積氣體
          image.png 氟化氙蝕刻氣體
          image.png 有機類蝕刻氣體
          image.png 碳沉積氣體
          日立掃描電子顯微鏡
          使用XeF2氣體實現(xiàn)的大深徑比孔加工
          以及采用鎢沉積引線

          ◆ 豐富多樣的坐標(biāo)鏈接功能
          日立公司的坐標(biāo)鏈接功能豐富多樣，可確定正確的加工位置和大幅縮短時間。
          image.png 光鏡圖像與SIM像的鏈接
          image.png 雙光標(biāo)功能
          image.png 日本zhuanli第4634134號 美國zhuanli第7595488號
          image.png 與缺陷檢測設(shè)備建立坐標(biāo)鏈接
          image.png 已截斷的晶元或芯片也可與缺陷檢測設(shè)備建立坐標(biāo)鏈接。
          image.png CAD聯(lián)用導(dǎo)航軟件

                       
                       
                           
          日立掃描電子顯微鏡
                       
                       
                           
          image.png 4通道供氣系統(tǒng)
          image.png 自動連續(xù)加工軟件
          image.png TEM樣品自動加工軟件
          image.png 控制器顯微鏡 其他
          *：可選擇其他MI系列的各種選配件。

                       
                        
                                        
                         
                                        
                                           
			        
          
			    
          
                			    
          關(guān)鍵詞：控制器  顯微鏡
          
                                                				
			
          
			
          
		
          
	
          
	
    
          
		
          
			
          
				
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