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          行業(yè)產(chǎn)品

          • 行業(yè)產(chǎn)品

          柯岷國際貿(mào)易(上海)有限公司


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          FIB-SEM三束系統(tǒng) NX2000

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          產(chǎn)品型號

          品       牌

          廠商性質(zhì)其他

          所  在  地上海市

          聯(lián)系方式:宋先生查看聯(lián)系方式

          更新時(shí)間:2024-06-18 10:19:43瀏覽次數(shù):120次

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          產(chǎn)品簡介

          在設(shè)備及高性能納米材料的評價(jià)和分析領(lǐng)域,F(xiàn)IB-SEM已成為的工具。近來,目標(biāo)觀察物更趨微細(xì)化;更薄,更低損傷樣品的制備需求更進(jìn)一步凸顯。日立高新公司,整合了高性能FIB技術(shù)和高分辨SEM技術(shù),再加上加工方向控制技術(shù)以及Triple Beam®*1(選配)技術(shù),推出了新一代產(chǎn)品NX2000。

          詳細(xì)介紹

          ◆ 運(yùn)用高對比度,實(shí)時(shí)SEM觀察和加工終點(diǎn)檢測功能,可制備厚度小于20 nm的超薄樣品

          日立掃描電子顯微鏡

          FIB加工時(shí)的實(shí)時(shí)SEM觀察*2例

          樣品:NAND閃存

          加速電壓:1 kV

          FOV:0.6 µm


          ◆ 加工方向控制技術(shù)(Micro-sampling®*3系統(tǒng)(選配)+高精度/高速樣品臺*)對于抑制窗簾效應(yīng)的產(chǎn)生,以及制作厚度均一的薄膜類樣品給予厚望。

          日立掃描電子顯微鏡     日立掃描電子顯微鏡

                            加工方向控制                                      常規(guī)加工時(shí)


          ◆ Triple Beam®*1(選配)可提高加工效率,并能使消除FIB損傷自動(dòng)化

          日立掃描電子顯微鏡

          EB:Electron Beam(電子束)

          FIB:Focused Ion Beam(聚焦離子束)

          Ar:Ar ion beam(Ar離子束)


          日立掃描電子顯微鏡

          選購件:

          image.png Ar/Xe離子束系統(tǒng)

          image.png Micro-sampling®*3系統(tǒng)

          image.png 缺陷檢測設(shè)備聯(lián)用軟件

          image.png CAD聯(lián)用導(dǎo)航軟件

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