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          行業(yè)產(chǎn)品

          • 行業(yè)產(chǎn)品

          蘇科斯(江蘇)半導(dǎo)體設(shè)備科技有限公司


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          水平多腔電鍍設(shè)備

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          品       牌

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          更新時間:2024-06-21 08:48:05瀏覽次數(shù):188次

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          產(chǎn)品簡介

          晶圓尺寸:150mm200mm300mm設(shè)備配置:-無或2個loadports-8個或多個電鍍腔體:Cu、Ni、Sn/Ag、Au-電鍍液種類:Cu、Ni、Sn/Ag、Au;-具備預(yù)濕腔體和清洗功能;-水平式電鍍腔體,無交叉污染-支持單腔體維護,提高設(shè)備正常運行時間-橡膠密封技術(shù),更佳密封性能-陰陽極分離技術(shù),更佳鍍液穩(wěn)定性工藝指標(biāo):高度均勻性:WiW≤5%,WtW≤5%,RtR≤5%

          詳細介紹

          晶圓尺寸:150mm200mm300mm設(shè)備配置:-無或2個loadports-8個或多個電鍍腔體:Cu、Ni、Sn/Ag、Au-電鍍液種類:Cu、Ni、Sn/Ag、Au;-具備預(yù)濕腔體和清洗功能;-水平式電鍍腔體,無交叉污染-支持單腔體維護,提高設(shè)備正常運行時間-橡膠密封技術(shù),更佳密封性能-陰陽極分離技術(shù),更佳鍍液穩(wěn)定性工藝指標(biāo):高度均勻性:WiW≤5%,WtW≤5%,RtR≤5%

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